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专利号: 2025107619970
申请人: 深圳市友恩半导体有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体芯片在线测试装置,包括测试箱(1),测试箱(1)的一侧顶部安装有主控制器(11),其特征在于:

所述测试箱(1)内腔的中部固定设置有垂直隔热板(12),且垂直隔热板(12)靠近其底部的一侧对称设有两个密封孔(121),测试箱(1)内腔且位于垂直隔热板(12)的正下方固定设置有水平隔热板(13),通过水平隔热板(13)在测试箱(1)内腔且位于水平隔热板(13)的上方形成测试空间,且测试空间以垂直隔热板(12)为中部界线呈两侧对称分别设置有低温测试区和高温测试区;

测试机构,设置于测试箱(1)的内部,其包括:驱动模块、切换测试模块、吸附模块;

驱动模块,设置于水平隔热板(13)底部,其包括驱动电机(21)、传动组件(22)、横板(23),其中传动组件(22)包括齿轮传动机构或同步带传动机构,能够将驱动电机(21)的旋转运动传递至横板(23);

切换测试模块,设置于水平隔热板(13)的上下两侧,其包括两个用于装载半导体芯片的测试板(27)以及设置于共同设置于两个测试板(27)外部的圆环板(28),圆环板(28)密封穿设于两个密封孔(121)内,通过圆环板(28)、垂直隔热板(12)隔绝低温测试区和高温测试区,在测试板(27)装载半导体芯片后于两个测试区内同时分别进行高、低温测试;

通过上述驱动电机(21)驱动传动组件(22)带动横板(23)转动半周,带动切换测试模块同步转动;

吸附模块,设置于垂直隔热板(12)靠近低温测试区的一侧,且位于驱动模块带动切换测试模块,自高温测试区向低温测试区转动的路径上。

2.根据权利要求1所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,所述垂直隔热板(12)和水平隔热板(13)均为气凝胶材质。

3.根据权利要求1所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,所述驱动电机(21)固定安装于测试箱(1)内腔的底面,且驱动电机(21)的机轴与传动组件(22)传动连接,并且传动组件(22)远离机轴一侧的顶部与横板(23)固定连接。

4.根据权利要求1所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,切换测试模块还包括固定连接于横板(23)顶部的永磁环(24),水平隔热板(13)顶面且与永磁环(24)相对应的位置上设有环形槽(25),且环形槽(25)内滑动设置有两个对称设置的永磁块(26),两个永磁块(26)的位置与永磁环(24)的位置上下对应,且二者互为相反的磁性,并且永磁块(26)的顶部与测试板(27)的底部固定连接。

5.根据权利要求4所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,水平隔热板(13)内部且与永磁环(24)和永磁块(26)相对应的位置上设有镂空层(131)。

6.根据权利要求4所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,两个永磁块(26)之间共同固定设置有半环板(261),半环板(261)位于环形槽(25)内,垂直隔热板(12)底部设有供永磁块(26)、半环板(261)穿过的缺口,半环板(261)始终封堵在缺口内。

7.根据权利要求1所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,吸附模块包括固定安装于垂直隔热板(12)靠近低温测试区的一侧的第一电伸缩杆(29),第一电伸缩杆(29)的伸缩端上连接有用于吸附水滴的擦拭组件(210)。

8.根据权利要求7所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,所述擦拭组件(210)由外壳体、插接板、吸附棉条组成,其中外壳体与第一电伸缩杆(29)的伸缩端固定连接,插接板的顶部设有T形凸条,通过T形凸条插设于外壳体顶部的T形槽内,吸附棉条粘接于插接板的底面,外壳体的底部及一侧均设有敞口,吸附棉条的底部位于底部的敞口处。

9.根据权利要求8所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,擦拭组件(210)的下方且位于垂直隔热板(12)上还设置有处理机构,其包括固定安装于垂直隔热板(12)靠近擦拭组件(210)一侧的两个电动导轨(31),两个电动导轨(31)上均滑动连接有电滑块(32),每个电滑块(32)的顶部均固定安装有第二电伸缩杆(33),第二电伸缩杆(33)的伸缩端上共同固定连接有汇集盒(34),汇集盒(34)内滑动连接有栅格板(35),栅格板(35)底部与汇集盒(34)内部底面之间均匀连接有至少四个弹簧(36),且四个弹簧(36)两两对称设置;

其中,电滑块(32)在电动导轨(31)上滑动平移至形成末端时,汇集盒(34)正好位于擦拭组件(210)中吸附棉条的正下方,而第二电伸缩杆(33)伸缩端伸出至行程末端时,汇集盒(34)包覆在吸附棉条的外部,且栅格板(35)与吸附棉条挤压配合。

10.根据权利要求9所述的半导体芯片在线测试装置,其特征在于,汇集盒(34)的底部连通设置有排液管,用于连接外接管体。