1.一种半导体器件处理设备,其特征在于,包括塑封单元、打胶单元、第一驱动单元、密封罩(4)和加压单元;
塑封单元包括塑封机,用于将引线框和芯片的组成品加工塑封体;
打胶单元,用于将填充胶液挤出,打胶单元包括胶枪(3),所述胶枪(3)的内部充满有胶液;
第一驱动单元的输出端与胶枪(3)连接,用于驱动胶枪(3)沿塑封体与引线框的连接边侧环绕打胶,隔绝塑封体与引线框连接处的分层间隙;
密封罩(4)用于将打胶完成的塑封体罩住密封;
加压单元的输出端与密封罩(4)内空间连通,用于向密封罩(4)内施加压力,使塑封体外的压力大于塑封体内的压力,产生内外压力差,将胶液压入分层间歇中,填充分层间隙;
所述胶枪(3)包括筒体(31),所述筒体(31)的底端安装有出胶头(32),所述筒体(31)的内部转动安装有螺杆(34),所述螺杆(34)的杆壁上安装有沿其杆向往复运动的活塞(341);
所述筒体(31)外安装有内齿带(33),所述内齿带(33)的内部啮合有主动带轮(331),所述主动带轮(331)与驱动电机的输出端连接,所述出胶头(32)的顶部安装有传动组件(35),所述出胶头(32)通过传动组件(35)与螺杆(34)传动连接;
所述第一驱动单元包括框架(2),所述框架(2)的底部安装有Z轴驱动组件(23),用于驱动所述框架(2)在Z轴方向上往复运动,所述框架(2)上还安装有X轴驱动组件(21),所述X轴驱动组件(21)的输出端安装有Y轴驱动组件(22),所述Y轴驱动组件(22)的输出端安装有装载组件(24),所述胶枪(3)安装于装载组件(24)上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体器件处理设备,其特征在于,所述X轴驱动组件(21)包括第一电机(211),所述第一电机(211)的输出端连接有两个平行布置于框架(2)上的第一传动带(212),所述第一传动带(212)的其中一个带体上安装有滑台(214),所述框架(2)上还安装有与第一传动带(212)运动方向相同的第一导杆(213),所述滑台(214)滑动套装于第一导杆(213)上;所述Y轴驱动组件(22)包括第二电机(221),所述滑台(214)上安装有第二电机(221),所述第二电机(221)的输出端安装有第二传动带(222),所述第二传动带(222)的一侧安装于第二导杆(223)。
3.根据权利要求2所述的一种半导体器件处理设备,其特征在于,所述装载组件(24)包括安装板(241),所述安装板(241)上安装有夹块(242),所述夹块(242)与第二传动带(222)的其中一侧带体固定连接,所述安装板(241)上还安装有滑套(243),所述滑套(243)套装于第二导杆(223)上,所述安装板(241)的底部安装有定位架(244),所述定位架(244)用于夹持胶枪(3)。
4.根据权利要求3所述的一种半导体器件处理设备,其特征在于,所述设备还包括工作台(1),所述加压单元包括加气压系统(5),所述加气压系统(5)的输出端延伸至密封罩(4)内,所述加气压系统(5)的输入端与外部气源连通。
5.根据权利要求4所述的一种半导体器件处理设备,其特征在于,所述设备还包括机械手(6),所述机械手(6)安装于工作台(1)上,所述密封罩(4)内还安装有用于放置塑封体的塑封体载台(11),所述密封罩(4)的顶部安装有顶盖,所述顶盖用于将密封罩(4)内空间密封。
6.一种半导体器件处理方法,其特征在于,采用如上述权利要求5所述的处理设备,包括以下步骤:S1、将引线框和芯片组合放置到塑封机内,将其加工成塑封体;
S2、控制打胶单元沿塑封体的四个边侧环绕打胶,在四个边侧形成胶圈;
S3、关闭胶枪(3),将塑封体罩住密封;
S4、外部加压,通过加压单元向密闭的密封罩(4)内加压到预设压力范围条件下,维持
30秒后降压;
S5、罩内烘干,通过烘干设备将胶圈烘干;
S6、机械手(6)将打胶完成的塑封体在塑封体载台(11)上翻面,再重复操作步骤S1‑S5。