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专利号: 2023100789810
申请人: 赵君超
专利类型:发明专利
专利状态:授权未缴费
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体器件制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤一:将处理装置与射频匹配器连通;

步骤二:使多根能够通入不同成膜气体的管道与处理装置连接;

步骤三:使用多根管道向处理装置内通入成膜气体;

步骤四:使用处理装置对成膜气体进行均匀混合,并对成膜气体进行过筛;

步骤五:从处理装置排出的成膜气体进入射频匹配器内,射频匹配器对成膜气体进行电离;

步骤六:经过电离后的成膜气体沉积在晶圆上形成半导体。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述处理装置包括处理盒(101),处理盒(101)内固接有连杆(401),连杆(401)上转动连接有扇叶(402),处理盒(101)内固接有滤板(201),处理盒(101)上转动连接有转杆(404),转杆(404)上固接有齿轮Ⅰ(405),扇叶(402)上固接有齿轮Ⅱ(403),齿轮Ⅰ(405)与齿轮Ⅱ(403)啮合,连杆(401)上连接有滑杆(701),滑杆(701)上设有多个弧面部(702),处理盒(101)上设有进气口(801),进气口(801)内转动连接有球阀,球阀上固接有开关杆(802),开关杆(802)与进气口(801)之间固接有第一扭簧,开关杆(802)上设有一个凸杆,凸杆能够与多个弧面部(702)接触,处理盒(101)下端固接有一个圆管,圆管内设有一个电控阀,处理盒(101)内固接一个角度传感器,角度传感器可转动端与开关杆(802)固接。

3.根据权利要求2所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述处理盒(101)上设有开口槽(102),处理盒(101)上设有固定螺纹孔(103)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述装置还包括连接在连杆(401)上的两个刮动杆(602),滤板(201)上固接有收纳部(203),两个刮动杆(602)均能够与滤板(201)表面接触,并能够沿着滤板(201)表面前后方向移动。

5.根据权利要求4所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:还包括滑动连接在连杆(401)上的驱动杆(501),驱动杆(501)上转动连接有两个铰接杆(601),每个铰接杆(601)下端均固接有刮动杆(602),每个铰接杆(601)与驱动杆(501)之间均固接有第二扭簧。

6.根据权利要求5所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述滑杆(701)滑动连接在转杆(404)上,滑杆(701)与转杆(404)之间固接有弹簧,驱动杆(501)上固接有压杆(502),滑杆(701)上固接有接触环(703),弹簧为压簧。

7.根据权利要求6所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述装置还包括滑动连接在处理盒(101)内的盖板(301)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述装置还包括固接在盖板(301)上的两个挡板(302)。

9.根据权利要求8所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述装置还包括通过螺栓可拆卸连接在收纳部(203)上的圆环挡片(202),收纳部(203)下端设有两个弧形通槽,圆环挡片(202)能够对弧形通槽进行遮挡。

10.根据权利要求3所述的一种半导体器件制备方法,其特征在于:所述固定螺纹孔(103)对称设有两个。