1.一种异质结双极晶体管,其特征在于,所述晶体管选取晶向为(110)的P型掺杂的单晶Si作为衬底;在所述单晶Si衬底上外延一层N+掺杂的单晶Si层,作为埋层;在所述埋层表面外延一层N-掺杂的单晶Si层,作为集电区;所述集电区形成三块厚度为400nm的STI结构以实现集电极和基极的隔离,并对所述集电区的右侧区域进行N+掺杂;对所述N-掺杂的集电区进行离子注入,在两侧形成P+掺杂,作为非本征基区;在器件表面淀积一层厚度为1-2μm的SiO2层以定义有源区的位置;在所述有源区选择性外延P型SiGe层基区,本征Si帽层和N+掺杂的多晶Si层发射区后在器件表面淀积氮化物层;光刻所述氮化物层和SiO2层,并刻蚀所述P+掺杂的非本征基区;进而选择性外延嵌入式SiGe层;在所述嵌入式SiGe层上外延多晶SiGe层,在器件表面再次淀积SiO2层,并进行CMP;在器件表面再次淀积氮化物层;光刻所述再次淀积的氮化物层,刻蚀所述厚度为1-2μm的SiO2层和所述再次淀积的SiO2层,并淀积金属硅化物,以形成发射极、基极和集电极接触。
2.根据权利要求1所述的异质结双极晶体管,其特征在于,所述发射区和所述基区具有相同的物理结构。
3.根据权利要求1所述的异质结双极晶体管,其特征在于,所述发射区宽度为90纳米。
4.一种异质结双极晶体管的制备方法,其特征在于,其包括以下具体步骤:步骤1,选取单晶硅掺杂浓度为1015cm-3晶向为(110)的P型初始材料,作为衬底;
步骤2,在P型掺杂的单晶Si衬底上外延一层掺杂浓度为1018cm-3的N+掺杂的单晶Si层,作为埋层;
步骤3,在N+掺杂的埋层表面外延一层掺杂浓度为1016cm-3的N-掺杂的单晶Si层,作为集电区;
步骤4,所述步骤3所得到的集电区上形成三块厚度为400nm的STI结构以实现集电极和基极的隔离;
步骤5,采用Mask1对所述步骤4得到的右侧两个STI结构之间的区域进行N+掺杂,作为集电区接触;
步骤6,在所述步骤5得到的器件上表面淀积一层厚度为50nm的SiO2层,并采用Mask2,光刻SiO2层;
步骤7,用所述步骤6得到的SiO2层作为掩蔽层,对N-掺杂的集电区进行P+掺杂,该P+掺杂区域作为器件非本征基区的一部分;
步骤8,去除所述步骤7中的SiO2层掩蔽层,并在器件上表面淀积厚度为1-2μm的SiO2层;
步骤9,采用Mask3,刻蚀所述步骤8得到的SiO2层并定义有源区的位置,依次选择性外延作为基区的P型SiGe层,本征Si帽层和作为发射区的N+掺杂多晶Si层;
步骤10,在所述步骤9得到的器件上表面淀积氮化物层;
步骤11,采用Mask4,刻蚀所述步骤10得到的氮化物层;
步骤12,刻蚀所述步骤8得到的SiO2层,得到通孔层;
步骤13,刻蚀所述步骤7得到的P+掺杂区域,并选择性外延嵌入式SiGe层;
步骤14,在所述步骤13得到的嵌入式SiGe层上选择性外延多晶SiGe层;
步骤15,在通孔层再次淀积SiO2层,然后进行CMP;
步骤16,在所述步骤15得到的器件上表面淀积氮化物层,并采用Mask5刻蚀所述氮化物层;
步骤17,刻蚀所述步骤15得到的器件上的SiO2层;
步骤18,淀积硅化物以形成金属接触,进而形成集电极接触、基区接触和发射区接触。