1. 一种气相沉积制备锌钆氧化物粉的方法,其特征在于,包括以下制备步骤:一、配制锌钆前驱体
步骤1:在500mL烧瓶中依次加入390mL乙醇、12 17g乙酸锌、7 10g乳化剂司盘80、3 5mL~ ~ ~乙酰丙酮,将溶液加热至65℃,在此温度保温60min,制得溶液A,上述使用的化学原料都为纯料;
步骤2:在烧杯中依次加入150mL去离子水、120mL乙醇、9 12g硝酸钆和6 8mL的1mol/L~ ~盐酸溶液,搅拌均匀,制得溶液B,上述使用的化学原料都为纯料;
步骤3:将溶液A和溶液B混合均匀,将混合溶液加热至65℃,在此温度保温60min,制得锌钆前驱体;
二、气相沉积
步骤4:从箱式电炉外部引入一根石英管至炉腔中心,石英管内径7mm,石英管在炉腔中心的末端出口内径0.6mm,保持电炉温度为660 710℃;
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步骤5:将步骤3制得的锌钆前驱体从石英管注入电炉中,注入流量为20mL/min;
步骤6:待注入完成后,继续在660 710℃煅烧3h,冷却后,即制得锌钆氧化物粉。
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