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专利号: 2021226240670
申请人: 内蒙古工业大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2024-12-09
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种化学气相沉积管式炉管,其特征在于:包括分别连接于管(1)外壁的外部组件(2)和连接于管(1)内壁的内部组件(3);所述外部组件(2)包括第一定环(4)和第一动环(5),所述第一动环(5)与第一定环(4)旋转连接,所述第一动环(5)的内表面贴合有第一磁性件(6);所述内部组件(3)包括第二动环(7)和第二定环(8),所述第二动环(7)与第二定环(8)旋转连接,所述第二动环(7)的外表面贴合有第二磁性件(9),所述第一磁性件(6)与第二磁性件(9)相对;所述第二定环(8)设置有第一通孔(10),所述第二动环(7)设置有第二通孔(11),所述第二动环(7)可旋转使第一通孔(10)与第二通孔(11)相互导通或相互错开。

2.根据权利要求1所述的化学气相沉积管式炉管,其特征在于:所述第一定环(4)分置第一动环(5)的两侧,所述第一动环(5)通过轴承(12)与第一定环(4)形成旋转连接;所述第一定环(4)通过顶丝(13)与管(1)相对固定。

3.根据权利要求1所述的化学气相沉积管式炉管,其特征在于:所述第二定环(8)分置第二动环(7)的两侧,所述第二动环(7)通过轴承(12)与第二定环(8)形成旋转连接;所述第二定环(8)通过卡组与管(1)相对固定。

4.根据权利要求3所述的化学气相沉积管式炉管,其特征在于:所述卡组包括弹簧(14)、限位销(15)和卡片(16);所述卡片(16)与第二定环(8)滑动连接,所述卡片(16)可沿第二定环(8)的径向滑动,所述弹簧(14)设置于卡片(16)的下方,在所述弹簧(14)的作用下,所述卡片(16)始终与管(1)的内壁相互顶压;所述限位销(15)与卡片(16)固定连接,所述第二定环(8)沿径向设置有限位槽(17),所述限位销(15)滑动连接于限位槽(17)中。

5.根据权利要求1所述的化学气相沉积管式炉管,其特征在于:所述第一磁性件(6)沿第一动环(5)的周向间隔设置,所述第二磁性件(9)沿第二动环(7)的周向间隔设置,所述第一磁性件(6)与第二磁性件(9)一一对应。

6.根据权利要求1所述的化学气相沉积管式炉管,其特征在于:所述第二动环(7)的外表面设置有一圈毛毡(18)。

7.根据权利要求1所述的化学气相沉积管式炉管,其特征在于:所述第一定环(4)的外表面设置有用于标识第一动环(5)旋转角度的标记符。