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专利号: 2025110897134
申请人: 北京乐原众丰科技有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体生产加工设备,包括上料箱(1),其特征在于,还包括:

送料口(2),呈对称开设在所述上料箱(1)的侧壁上,所述上料箱(1)靠近送料口(2)的一侧设置有密封机构,用于对上料箱(1)进行密封;

限位轨(6),固定连接在所述上料箱(1)的内部,所述限位轨(6)的内部滑动连接有驱动电机(7),所述驱动电机(7)的输出端固定连接有往复丝杠(8),所述往复丝杠(8)远离驱动电机(7)的一端固定连接有转轴(10),其中,所述往复丝杠(8)上设置有活动盘(9),所述活动盘(9)与驱动电机(7)之间固定连接有多组气动组件(12),当往复丝杠(8)转动时,驱动活动盘(9)沿往复丝杠(8)往复移动,间歇对气动组件(12)进行压缩;

安装块(5),呈对称固定连接在所述上料箱(1)的内部,所述安装块(5)上设置有存放架(20),所述存放架(20)与安装块(5)之间设置有驱动组件;

送料机构,设置在所述转轴(10)与安装块(5)之间,当转轴(10)转动时,用于带动半导体沿上料箱(1)转动并移动;

清洁干燥机构,设置在两组所述安装块(5)之间,用于对半导体表面上的污染物、氧化层进行清理,并进行干燥。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,所述密封机构包括开设在上料箱(1)侧壁靠近送料口(2)一侧的收纳槽(3),所述收纳槽(3)的内部滑动连接有密封板(4),其中一组所述送料口(2)与沉积设备相连通。

3.根据权利要求2所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,所述活动盘(9)的内部设置有与往复丝杠(8)相匹配的凸块,所述气动组件(12)包括固定连接在驱动电机(7)上的密封筒(121),所述密封筒(121)的内部滑动连接有活塞(122),所述活塞(122)远离驱动电机(7)的一侧固定连接有与密封筒(121)滑动连接的连接杆(123),其中,所述连接杆(123)远离活塞(122)的一端与活动盘(9)相连接,所述活塞(122)将密封筒(121)内部分隔为两组密封腔,所述密封筒(121)侧壁靠近上方密封腔的一侧设置有两组第一单向阀(124),所述密封筒(121)侧壁靠近下方密封腔的一侧设置有两组第二单向阀(125),且两组所述第一单向阀(124)和第二单向阀(125)的方向相反。

4.根据权利要求3所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,所述送料机构包括固定连接在转轴(10)上的齿轮(11),所述安装块(5)相互靠近的一侧固定连接有延伸件(15),其中一组所述延伸件(15)上固定连接有与齿轮(11)相啮合的固定齿板(16),另一组所述延伸件(15)上固定连接有与转轴(10)相贴合的定位板(17),所述转轴(10)的顶端固定连接有吸盘(14),其中,所述吸盘(14)与其中一组第一单向阀(124)和第二单向阀(125)之间通过管道和滑环相连通,当吸盘(14)转动时,此第一单向阀(124)或第二单向阀(125)处于吸气状态。

5.根据权利要求4所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,所述驱动组件包括呈对称开设在延伸件(15)内的电动密封槽(18),所述电动密封槽(18)的内部滑动连接有电推杆(19),所述电推杆(19)远离电动密封槽(18)的一端与存放架(20)相连接,其中,所述电动密封槽(18)的排气端与收纳槽(3)之间通过管道相连通,所述电动密封槽(18)的进气端与上料箱(1)的内部相连通,所述上料箱(1)靠近收纳槽(3)的一侧以及吸盘(14)的滑环与管道之间均设置有气动阀,所述气动阀与电动密封槽(18)的进气端之间通过管道相连通,当对气动阀进行吸气时,靠近收纳槽(3)一侧气动阀处于开启状态,靠近吸盘(14)一侧的气动阀处于关闭状态。

6.根据权利要求5所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,还包括呈对称固定连接在所述上料箱(1)内壁靠近限位轨(6)一侧的弹性伸缩杆(13),所述弹性伸缩杆(13)的内部设置有控制开关,所述控制开关与驱动电机(7)以及电动密封槽(18)之间电性连接,其中,所述电动密封槽(18)与电推杆(19)之间采用往复停滞的驱动方式,当触发控制开关时,驱动电机(7)反方向转动。

7.根据权利要求4所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,所述清洁干燥机构包括固定连接在安装块(5)相互靠近一侧的连接板(23),所述连接板(23)靠近存放架(20)一侧开设有吸尘通道(24),所述连接板(23)靠近吸尘通道(24)的一侧固定连接有清洁板(25),所述连接板(23)靠近存放架(20)一侧一端设置有清洁棉(26),所述连接板(23)远离清洁棉(26)的一侧设置有与吸尘通道(24)相连通的抽气管(27),所述抽气管(27)与靠近吸盘(14)一侧的管道相连通,其中,所述抽气管(27)延伸至上料箱(1)的外部,且抽气管(27)上设置有集尘设备,用于将气体中的杂质进行收集。

8.根据权利要求7所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,还包括固定连接在两组所述安装块(5)之间的多组固定架(28),所述固定架(28)靠近存放架(20)的一侧固定连接有多组喷头(29),所述固定架(28)上设置有与喷头(29)相连通的排气管(30),其中,所述排气管(30)其中一组第一单向阀(124)和第二单向阀(125)之间通过管道相连通,当吸盘(14)转动时,此第一单向阀(124)和第二单向阀(125)处于排气状态。

9.根据权利要求1所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,还包括开设在安装块(5)内的滑动槽(21),所述滑动槽(21)的内部滑动连接有压缩杆(22),所述压缩杆(22)的端部与存放架(20)相连接,所述上料箱(1)顶部远离沉积设备的一侧固定连接有连通件(31),所述连通件(31)与滑动槽(21)之间通过管道相连通。

10.根据权利要求4所述的一种半导体生产加工设备,其特征在于,所述存放架(20)呈半圆形设置,所述存放架(20)上开设有与吸盘(14)相匹配的孔,所述存放架(20)靠近吸盘(14)孔的一侧呈凸起状,所述吸盘(14)的顶部与存放架(20)相匹配。