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专利号: 2024218442157
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-05-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体生产用涂胶设备,包括机架(1)、转动设置在机架(1)两端的传输辊(2)以及传动绕设在两个传输辊(2)上的传输带(3),其特征在于,还包括:涂胶机构(4),包括设置在机架(1)上的安装架(401),所述安装架(401)的一侧设置有环板(402),所述环板(402)的内壁设置有套壳(403),所述套壳(403)内转动设置有涂胶轮(404),所述安装架(401)上设置有胶罐(405),所述胶罐(405)与套壳(403)之间连通有输送管(406);

承托板(5),设置在机架(1)的底部,所述承托板(5)上设置有电动推杆(6),所述电动推杆(6)的活塞端设置有吸附旋转件(7),吸附旋转件(7)用于吸附固定晶圆并带动其旋转。

2.根据权利要求1所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述吸附旋转件(7)包括设置在电动推杆(6)活塞端的U形架(701),所述U形架(701)上转动贯穿有导管(702),导管(702)的顶端连通有吸盘(703),所述导管(702)上固设有从动齿轮(704),所述U形架(701)上设置有第一电机(705),所述第一电机(705)的输出轴固设有与从动齿轮(704)齿牙啮合的传动齿轮(706)。

3.根据权利要求1所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述机架(1)的内壁相对侧均滑动贯穿有定位杆(8),两个所述定位杆(8)的相对端均设置有弧形板(9),所述承托板(5)上设置有用于驱动两个定位杆(8)同步反向滑动的驱动部(10)。

4.根据权利要求3所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述驱动部(10)包括设置在承托板(5)上的第二电机(1001),所述第二电机(1001)的输出轴固设有圆齿轮(1002),两个定位杆(8)的自由端均设置有齿条(1003)且两个齿条(1003)均与圆齿轮(1002)齿牙啮合。

5.根据权利要求2所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述U形架(701)上设置有定位板(11),所述定位板(11)上设置有弹簧伸缩杆(12),所述弹簧伸缩杆(12)的自由端滚动插设有滚珠。

6.根据权利要求1所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述环板(402)的内部开设有环形集液腔(13),所述环板(402)的内壁开设有与环形集液腔(13)连通的环形穿槽(14),所述环板(402)的外表面设置有与环形集液腔(13)连通的排液管(15)。

7.根据权利要求6所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述环板(402)的内壁设置有橡胶圈(16),橡胶圈(16)的顶部与环形穿槽(14)的内底壁平齐。

8.根据权利要求7所述的半导体生产用涂胶设备,其特征在于,所述环板(402)的内壁转动设置有环圈(17),所述橡胶圈(16)设置在环圈(17)的内壁。