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专利号: 2025103480210
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-10
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1. 一种集成双自偏置MOS的SiC MOSFET器件,其特征在于,该器件包括N+衬底区、位于所述N+衬底区表面的N‑漂移区、位于所述N‑漂移区表面的主MOS以及位于所述N‑漂移区表面且分布在所述主MOS两侧的第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS;

所述第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS结构相同,且呈对称分布;所述第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS均包括自偏置PMOS和自偏置NMOS;所述自偏置PMOS用于控制浮空和钳位;所述自偏置NMOS用于反向导通;

所述第一双自偏置MOS和第二双自偏置MOS均包括P‑well区、P+区、第二多晶硅区、第二绝缘介质层、P‑base区、第二N+源区和P+漏区;所述P‑well区位于所述N‑漂移区表面;所述P+区位于所述P‑well区左上方或右上方;所述第二多晶硅区位于所述P‑well和P+区上方,且通过所述第二绝缘介质层与所述第二N+源区、P‑base区、N‑漂移区、P‑well区和P+区相隔;

所述P‑base区位于所述N‑漂移区表面,且与所述主MOS相邻;所述第二N+源区位于所述P‑base区左上方或右上方;所述P+漏区位于所述P‑base区表面,且与所述主MOS相邻;

所述P‑well区作为所述自偏置PMOS的源极;所述第二N+源区作为所述自偏置NMOS的源极;所述P+漏区作为所述自偏置PMOS的漏极;所述第二多晶硅区作为所述自偏置PMOS和自偏置NMOS的栅极;所述自偏置NMOS的漏极与所述主MOS的漏极连接;

所述自偏置PMOS的漏极和栅极短接;所述自偏置NMOS的源极和栅极短接。

2. 根据权利要求1所述的SiC MOSFET器件,其特征在于,所述主MOS包括第一多晶硅区、第一N+源区和第一绝缘介质层;所述第一多晶硅区位于所述N‑漂移区上方,且被所述第一绝缘介质层完全包裹;所述第一N+源区分布在所述第一多晶硅区两侧,通过所述第一绝缘介质层与所述第一多晶硅区相隔。

3. 根据权利要求1所述的SiC MOSFET器件,其特征在于,在该器件的横向方向上,所述P‑well区较所述第二绝缘介质层凸出一部分,该凸出部分用于增强所述自偏置PMOS的导通能力。

4. 根据权利要求1所述的SiC MOSFET器件,其特征在于,该器件还包括源极金属接触区,所述源极金属接触区位于该器件的顶部;

所述源极金属接触区分别与主MOS的源极、自偏置PMOS的漏极和栅极以及自偏置NMOS的源极和栅极连接。

5.根据权利要求1所述的SiC MOSFET器件,其特征在于,该器件还包括漏极金属接触区,所述漏极金属接触区位于该器件的底部;

所述漏极金属接触区分别与主MOS的漏极和自偏置NMOS的漏极连接。