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专利号: 2022113184775
申请人: 重庆邮电大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-09-09
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种集成自偏置PMOS的低功耗LIGBT器件,包括漂移区(3)、埋氧层(4)、衬底(5)、P型埋层(14)和阳极区,所述衬底(5)、埋氧层(4)和漂移区(3)自下而上依次设置;所述P型埋层(14)被漂移区(3)完全包裹;所述阳极区的上方与右侧与LIGBT器件平齐,其左侧和下方与漂移区(3)相邻;其特征在于:该器件还包括阴极P+区(1)、阴极P‑well区(2)、阴极N+区(6)、普通MOS氧化层(7)、普通MOS多晶硅栅极(8)、阴极MOS‑P区(9)、PMOS多晶硅栅极(10)和PMOS氧化层(11);

所述阴极P+区(1)与阴极N+区(6)相邻,且两者均位于阴极P‑well区(2)上方;所述阴极P‑well区(2)下方与漂移区(3)相邻;所述普通MOS氧化层(7)左侧与阴极N+区(6)和阴极P‑well区(2)相邻,下方与漂移区(3)相邻,右侧与P型埋层(14)和自偏置PMOS区(15)相邻;所述普通MOS多晶硅栅极(8)位于普通MOS氧化层(7)中,被普通MOS氧化层(7)完全包裹;所述阴极MOS‑P区(9)位于普通MOS氧化层(7)和PMOS氧化层(11)之间;所述PMOS氧化层(11)右侧与漂移区(3)相邻,下方与P型埋层(14)相邻;所述PMOS多晶硅栅极(10)位于PMOS氧化层(11)中,被PMOS氧化层(11)完全包裹;

所述阴极P+区(1)、阴极P‑well区(2)、阴极N+区(6)、普通MOS氧化层(7)、普通MOS多晶硅栅极(8)以及部分的漂移区(3)组成普通MOS区(16);

所述阴极MOS‑P区(9)、PMOS多晶硅栅极(10)、PMOS氧化层(11)以及部分的漂移区(3)和P型埋层(14)组成自偏置PMOS区(15);所述阴极MOS‑P区(9)和PMOS多晶硅栅极(10)均与阴极电极相连。

2.根据权利要求1所述的一种低功耗LIGBT器件,其特征在于:所述阳极区包括阳极P+区(12)和阳极N‑buffer区(13);所述阳极P+区(12)被阳极N‑buffer区(13)包裹;所述阳极N‑buffer区(13)被漂移区(3)包裹。

3.根据权利要求1所述的一种低功耗LIGBT器件,其特征在于:所述普通MOS区(16)的源极为阴极N+区(6),漏极为漂移区(3),栅极为普通MOS多晶硅栅极(8),栅氧化层为普通MOS氧化层(7)。

4.根据权利要求1所述的一种低功耗LIGBT器件,其特征在于:所述自偏置PMOS区(15)的源极为P型埋层(14),漏极为阴极MOS‑P区(9),栅极为PMOS多晶硅栅极(10),栅氧化层为PMOS氧化层(11)。

5.根据权利要求1所述的一种低功耗LIGBT器件,其特征在于:所述P型埋层(14)与普通MOS氧化层(7)和PMOS氧化层(11)均直接接触。