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专利号: 2024229923095
申请人: 江苏福旭科技制造有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:包括磨削机构(2)和转移机构(3),转移机构(3)用于带动工件(5)转移至磨削机构(2)并带动工件(5)翻面,磨削机构(2)用于对工件(5)进行磨削,转移机构(3)包括夹持组件(31)、移动组件(32)和动力源一(33),夹持组件(31)用于夹持工件(5),移动组件(32)用于带动夹持组件(31)横向移动或竖向移动,动力源一(33)用于带动夹持组件(31)翻转。

2.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:夹持组件(31)包括夹持腔(311),夹持腔(311)用于容纳工件(5),夹持腔(311)上设有接触点(312)和导向面(313),接触点(312)用于和工件(5)接触,导向面(313)用于引导工件(5)进入夹持腔(311)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:还包括储料机构(4),储料机构(4)用于储存工件(5)并在移动组件(32)的作用下使工件(5)移动至夹持组件(31)的夹持范围内。

4.根据权利要求3所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:储料机构(4)包括存料筒(41)和下料链条(42),下料链条(42)用于在移动组件(32)的作用下带动存料筒(41)的工件(5)移动。

5.根据权利要求4所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:下料链条(42)上设有限位面(43),限位面(43)用于限定工件(5)的位置。

6.根据权利要求4所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:存料筒(41)上设有滚轴(411)和通过口(422),通过口(422)供夹持组件(31)通过,下料链条(42)通过滚轴(411)安装在存料筒(41)上。

7.根据权利要求1所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:磨削机构(2)包括磨削组件(21)、支撑平台(22)和动力源二(23),动力源二(23)用于带动支撑平台(22)转动,支撑平台(22)用于限定工件(5)的位置,磨削组件(21)用于对支撑平台(22)上的工件(5)进行磨削。

8.根据权利要求7所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:支撑平台(22)上设有避让槽(24),避让槽(24)用于避让夹持组件(31)的一部分。

9.根据权利要求4所述的一种单晶硅片自动翻面磨削设备,其特征在于:磨削组件(21)包括磨削件(211)和动力源三(212),动力源三(212)用于带动磨削件(211)靠近或远离工件(5),磨削件(211)用于磨削工件(5)。