1.一种单晶硅片研磨轮,包括轮盘体(1),其特征在于:所述轮盘体(1)的一侧盘面上设有粗磨楞条(2),所述轮盘体(1)的另一侧盘面上设有用于驱动轮盘体(1)的驱动转轴(3),所述粗磨楞条(2)围绕轮盘体(1)的盘面中心位置上等角度设置有若干个,若干个所述粗磨楞条(2)将轮盘体(1)的盘面分隔成若干个板面区域,所述轮盘体(1)上设有通道(4),所述通道(4)位于板面区域内,所述通道(4)的内部伸缩设有用于精细打磨单晶硅片的精磨件(5);
所述粗磨楞条(2)上设有磨齿条(6),所述磨齿条(6)呈流线型结构,且磨齿条(6)上设有用于接触单晶硅片表面的倒角部(7);
所述粗磨楞条(2)的内部设有用于柱状喷射抛光液的第一喷射孔(8)和第二喷射孔(9),所述第一喷射孔(8)和第二喷射孔(9)均设置有若干个,且第一喷射孔(8)和第二喷射孔(9)分别位于磨齿条(6)的两侧,所述第一喷射孔(8)朝向单晶硅片的外表面,所述第二喷射孔(9)朝向倒角部(7)。
2.根据权利要求1所述的单晶硅片研磨轮,其特征在于:所述精磨件(5)包括开设于轮盘体(1)内的空腔(501),所述空腔(501)与通道(4)连通,所述空腔(501)的内部滑动设有伸缩盘(502),所述伸缩盘(502)的一侧面上设有若干个贯穿于通道(4)内部的抛光片(503),所述伸缩盘(502)的另一侧面上设有驱动件(504)。
3.一种单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:所述单晶硅片双面研磨装置包括:支撑架(10);
相对设置的一对壳体(11),一对所述壳体(11)之间同步滑动在支撑架(10)上;
相对设置的一对如权利要求1‑2任一所述的单晶硅片研磨轮,一对所述单晶硅片研磨轮分别固定在对应的所述一对壳体(11)上;
驱动元件(12),所述驱动元件(12)设于支撑架(10)上,且用于驱动一对壳体(11);
固定组件(13),所述固定组件(13)设于一对壳体(11)之间,且固定组件(13)用于固定单晶硅片。
4.根据权利要求3所述的单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:相对一对所述壳体(11)侧面的一面上设有集液块(15),所述集液块(15)的内部设有集液槽(16),所述集液槽(16)位于单晶硅片研磨轮的下侧空间,用于收集单晶硅片研磨轮打磨过程中产生的废液。
5.根据权利要求4所述的单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:所述壳体(11)的内部设有容纳腔(17),所述壳体(11)上设有排液口(18)和排液孔(19),所述排液口(18)与容纳腔(17)连通,且排液口(18)垂直向下,所述排液孔(19)的两端开口分别与容纳腔(17)和集液槽(16)连通。
6.根据权利要求3所述的单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:所述固定组件(13)包括支撑支柱(1301),所述支撑支柱(1301)的顶部设有定位块(1302),所述定位块(1302)的上表面设有用于匹配单晶硅片的卡槽(1303)。
7.根据权利要求6所述的单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:所述卡槽(1303)上设有定位穿孔(1304),所述定位穿孔(1304)的内部设有挤压块(1305),所述挤压块(1305)的一端朝向单晶硅片的表面。
8.根据权利要求7所述的单晶硅片双面研磨装置,其特征在于:所述挤压块(1305)为柔性材料,所述挤压块(1305)设置在集液块(15)上。