利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2021210904953
申请人: 浙江鑫研电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种硅片双面磨削装置,其特征在于:包括工作台(1)、电动推杆一(2)、支撑座(3)和滑槽(15),所述工作台(1)上端设置有所述电动推杆一(2),所述电动推杆一(2)上端设置有所述支撑座(3),所述电动推杆一(2)一侧设置有所述滑槽(15),所述滑槽(15)内设置有支撑柱(12),所述支撑柱(12)上端内部设置有电机二(16),所述电机二(16)的输出轴上设置有旋转盘(11),所述支撑柱(12)一侧壁上设置有液压杆(14),所述工作台(1)上端两侧设置有龙门架(4),所述龙门架(4)以及所述工作台(1)一侧壁上均设置有导轨(9),所述导轨(9)内设置有气缸(8),所述气缸(8)一侧壁上设置有电动推杆二(13),所述气缸(8)一端设置有安装板(17),所述安装板(17)一侧壁上设置有电机一(10),所述电机一(10)的输出轴上设置有磨削头(5),所述电机一(10)一侧设置有安装座(7),所述安装座(7)上设置有三维扫描仪(6)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨削装置,其特征在于:所述电动推杆一(2)与所述工作台(1)通过螺钉连接,所述支撑座(3)与所述电动推杆一(2)通过螺钉连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨削装置,其特征在于:所述滑槽(15)成型于所述工作台(1)上,所述支撑柱(12)与所述滑槽(15)滑动连接,所述电机二(16)与所述旋转盘(11)键连接,所述液压杆(14)与所述支撑柱(12)通过螺钉连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨削装置,其特征在于:所述龙门架(4)与所述工作台(1)通过螺钉连接,所述导轨(9)与所述工作台(1)以及所述龙门架(4)均通过螺钉连接,所述气缸(8)与所述导轨(9)滑动连接,所述电动推杆二(13)与所述气缸(8)通过螺钉连接。

5.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨削装置,其特征在于:所述安装板(17)与所述气缸(8)通过螺钉连接,所述电机一(10)与所述安装板(17)通过螺钉连接,所述电机一(10)与所述磨削头(5)键连接。

6.根据权利要求1所述的一种硅片双面磨削装置,其特征在于:所述安装座(7)与所述安装板(17)通过螺钉连接,所述三维扫描仪(6)与所述安装座(7)通过螺钉连接。