利索能及
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专利号: 2024227925946
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-12-08
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种全自动晶圆减薄机,包括箱体(1),其特征在于:所述箱体(1)的正面活动安装有箱门(2),所述箱体(1)内腔的顶部固定安装有伸缩气缸(7),所述伸缩气缸(7)的输出端固定安装有伺服电机(8),所述伺服电机(8)的输出端传动连接有研磨片(9),所述箱体(1)内腔的顶部固定安装有两个电动伸缩杆(11),两个所述电动伸缩杆(11)的输出端固定安装有环管(12),所述环管(12)的内侧连通有若干开关式雾化喷头(13),所述箱体(1)的内部固定安装有透水板(14),所述透水板(14)的内侧固定套接有圆座(20),所述圆座(20)的底部固定安装有薄层软质垫(26),所述圆座(20)的顶端和薄层软质垫(26)的内部开设有若干封堵槽(21),所述封堵槽(21)的内部活动套接有封堵头(22),所述圆座(20)的内部开设有若干环槽(23),所述环槽(23)的内部活动套接有环形密封活塞(24),所述环形密封活塞(24)的底部固定安装有若干支杆(25),所述支杆(25)的底端固定安装有支撑板(19),所述支撑板(19)的底部固定安装有可调行程气缸(16),所述可调行程气缸(16)的底端固定安装有短支板(15),所述箱体(1)的内部固定安装有两个滑板(18),两个所述滑板(18)的顶部滑动安装有滤网框(17),所述箱体(1)的外侧固定安装有水泵(4),所述水泵(4)的输入端连通有输入管(6),所述水泵(4)的输出端连通有输出管(5),所述输出管(5)的另一端连通有输水软管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机,其特征在于:所述开关式雾化喷头(13)呈圆周均匀分布在环管(12)的内侧,所述开关式雾化喷头(13)呈倾斜向下分布,所述研磨片(9)的位置与圆座(20)的位置相对应。

3.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机,其特征在于:所述封堵槽(21)呈圆周均匀分布在圆座(20)和薄层软质垫(26)的内部,所述环槽(23)的顶端与封堵槽(21)的底端相连通,所述环槽(23)呈现出同心圆结构布局,其中较大的圆形环绕在较小圆形的外部,呈规则分布。

4.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机,其特征在于:所述短支板(15)固定安装在箱体(1)内壁,所述支杆(25)呈圆周均匀分布在环槽(23)的内部,所述支撑板(19)的规格尺寸与圆座(20)的规格尺寸相适配。

5.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机,其特征在于:所述输水软管(10)远离输出管(5)的一端连通在环管(12)的内部,所述输入管(6)远离水泵(4)的一端连通在箱体(1)内腔的底部,所述滤网框(17)的规格尺寸与滑板(18)和短支板(15)的规格尺寸相适配。

6.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆减薄机,其特征在于:所述箱门(2)的正面安装有控制面板(3)。