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专利号: 2021208946411
申请人: 无锡市芯通电子科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-15
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种便于调节散热性能的半导体晶圆减薄装置,其特征在于:包括底板(1)、处理箱体(2)、调节机构和安装机构,所述底板(1)的顶端面固定安装有处理箱体(2),所述处理箱体(2)内壁的底部固定安装有底座(3);

所述调节机构包括螺纹杆(5)、滑块(6)和十字滑台(9),所述底座(3)的顶端面竖直安装有立板(4),所述立板(4)的一侧开设有滑槽(401),所述滑槽(401)内竖直转动安装有螺纹杆(5),所述螺纹杆(5)的表面螺纹安装有滑块(6),所述滑块(6)的一端水平安装有固定板(7),所述固定板(7)的底部开设有安装槽(8),所述安装槽(8)内安装有十字滑台(9),所述十字滑台(9)的滑动端安装有打磨机(10),所述打磨机(10)的输出端固定连接有连接轴杆(11);

所述安装机构包括打磨轮(12)和锁止件(13),所述连接轴杆(11)的底部表面开设有两个卡槽(1101),所述打磨轮(12)的顶端面开设有凹槽(1202),所述凹槽(1202)内壁的两侧均开设有第一放置槽(1201),两个所述第一放置槽(1201)一端均开设有贯通槽(1203),两个所述第一放置槽(1201)内均安装有锁止件(13),两个所述锁止件(13)的一端均穿过对应的贯通槽(1203)并延伸至打磨轮(12)的外部,所述凹槽(1202)内壁的底部开设有第二放置槽(1204),所述第二放置槽(1204)内竖直安装有压簧(14),两个所述锁止件(13)的另一端分别卡接对应的卡槽(1101)内。

2.根据权利要求1所述的一种便于调节散热性能的半导体晶圆减薄装置,其特征在于:所述底板(1)底端面的四角处均安装有支腿(101),四个所述支腿(101)的底端均安装有垫块,所述处理箱体(2)的一侧板铰接有箱门,所述箱门上安装有把手。

3.根据权利要求1所述的一种便于调节散热性能的半导体晶圆减薄装置,其特征在于:所述底座(3)的顶端面固定安装有真空固定吸盘(16),所述立板(4)的一侧安装有散热组件(17)。

4.根据权利要求1所述的一种便于调节散热性能的半导体晶圆减薄装置,其特征在于:所述立板(4)的顶部安装有伺服电机(15),所述伺服电机(15)的输出端固定套接有主动锥齿轮(1501),所述螺纹杆(5)的顶端表面固定套接有从动锥齿轮(501),所述主动锥齿轮(1501)与从动锥齿轮(501)啮合。

5.根据权利要求1所述的一种便于调节散热性能的半导体晶圆减薄装置,其特征在于:所述锁止件(13)包括活动杆(1301)、空腔筒(1302)、弹簧(1303)和卡扣(1304),所述空腔筒(1302)的内壁的一端安装有限位套筒(1305),所述活动杆(1301)的一端活动贯穿空腔筒(1302)的一侧并穿过限位套筒(1305)与卡扣(1304)固定连接,所述活动杆(1301)的表面活动套接有弹簧(1303),所述卡扣(1304)的一端活动贯穿空腔筒(1302)的另一端并延伸至空腔筒(1302)的外部。

6.根据权利要求1所述的一种便于调节散热性能的半导体晶圆减薄装置,其特征在于:所述压簧(14)的顶端安装有固定盘,所述固定盘的顶部与连接轴杆(11)的底端接触。