1.一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，包括：

板架(1)，所述板架(1)上阵列排布有若干个安装槽，所述安装槽内侧设有一圈用于支撑掩膜板组件(2)的支撑部；

所述掩膜板组件(2)包括贴合于硅片两侧的上掩膜板(21)和下掩膜板(22)，所述板架(1)上端面且在所述安装槽周围设有若干用于固定所述掩膜板组件(2)的压块(4)，所述掩膜板组件(2)和所述压块(4)在安装固定后，其上端面均不高于所述板架(1)的上端面。

2.根据权利要求1所述的一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，所述下掩膜板(22)上端面设有一放置槽，硅片先置入所述放置槽内再将所述上掩膜板(21)盖于所述硅片上，所述放置槽内设有定位柱(223)，所述上掩膜板(21)设有与所述定位柱(223)配合的定位孔(211)。

3.根据权利要求1所述的一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，所述下掩膜板(22)上端面边缘设有四个第一凹槽(221)；所述板架(1)上端面设有第二凹槽(11)，所述第二凹槽(11)底部设有螺孔，所述掩膜板组件(2)与所述板架(1)安装时所述第一凹槽(221)与所述第二凹槽(11)对齐，所述压块(4)置于所述第一凹槽(221)和所述第二凹槽(11)内并通过螺栓固定，所述压块(4)上端面设有沉孔。

4.根据权利要求2所述的一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，所述放置槽侧面设有取放槽口(222)，所述上掩膜板(21)侧面且位于所述取放槽口(222)处设有一取放凸台(212)。

5.根据权利要求2所述的一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，其中所述定位柱(223)与所述定位孔(211)共设有六组，呈三行两列设置，所述定位柱(223)均为圆柱形，所述定位孔(211)除第二行第二个定位孔(211)为圆孔之外，其余的所述定位孔(211)均为长条状，且长边的轴线均指向圆孔的所述定位孔(211)。

6.根据权利要求1所述的一种便于替换掩膜板的硅片载板，其特征在于，所述板架(1)侧面设有一圈框架(3)。