1.一种抗变形的硅片载板，其特征在于：包括一体成型的基座（1），所述基座（1）包括底板（11）以及环绕所述底板（11）布置的侧板（12），所述底板（11）的底部设有分别交错连接所述侧板（12）交接位置的第一加强条（13）和第二加强条（14）、居中设置于所述底板（11）底部的加强环（15），以及垂直连接于所述侧板（12）和所述加强环（15）的第三加强条（16）。

2.根据权利要求1所述的一种抗变形的硅片载板，其特征在于：还包括若干交错布置的第一卡条（2）和第二卡条（3），第一卡条（2）和第二卡条（3）将所述基座（1）的顶部分隔为若干镀膜窗口（5）。

3.根据权利要求2所述的一种抗变形的硅片载板，其特征在于：所述第一卡条（2）设有供所述第二卡条（3）嵌入的第一卡槽（21），所述第二卡条（3）设有供所述第一卡条（2）嵌入的第二卡槽（31），所述第一卡槽（21）和所述第二卡槽（31）相互对合。

4.根据权利要求2所述的一种抗变形的硅片载板，其特征在于：所述第一卡条（2）和第二卡条（3）均与所述基座（1）可拆卸连接。

5.根据权利要求2所述的一种抗变形的硅片载板，其特征在于：所述第一卡条（2）、第二卡条（3）和侧板（12）均设置有朝向所述镀膜窗口（5）的支撑部（4），所述支撑部（4）设有导向斜面（41）。