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专利号: 2024220919592
申请人: 厦门市俊亦精密机械有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-08-18
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种拼接式硅片载板,其特征在于,包括:若干载板组(200)和框架(100),若干载板组(200)可拆卸地排列固设于框架(100)内;每一所述载板组(200)包括若干支撑板(1),所述支撑板(1)设置有用于放置硅片的放置槽(11),每两个相邻的所述支撑板(1)首尾拼接;

所述支撑板(1)一端沿载板组(200)长度方向延伸设置有至少二限位凸起(13),另一端设置有至少二限位孔(14),每一所述支撑板(1)的限位凸起(13)插接于相邻所述支撑板(1)的限位孔(14);

还包括若干插销(4),每一载板组(200)的若干支撑板(1)之间穿设有至少一插销(4)。

2.如权利要求1所述的一种拼接式硅片载板,其特征在于,所述插销(4)一端朝外延伸设置有凸条(41);所述支撑板(1)对应地设置有安装孔(12),所述插销(4)与安装孔(12)相契合。

3.如权利要求2所述的一种拼接式硅片载板,其特征在于,所述插销(4)一端固设有限位凸台(42)。

4.如权利要求3所述的一种拼接式硅片载板,其特征在于,每一所述载板组(200)插设有两个插销(4),两所述插销(4)分别插设于载板组(200)的左、右两端;所述限位凸台(42)的一端抵接于载板组(200)。

5.如权利要求1所述的一种拼接式硅片载板,其特征在于,所述框架(100)包括至少二第一固定杆(2)和至少二第二固定杆(3),所述第一固定杆(2)与第二固定杆(3)组合形成封闭的框架(100)。

6.如权利要求5所述的一种拼接式硅片载板,其特征在于,所述第一固定杆(2)和第二固定杆(3)均设置有用于卡接载板组(200)的安装槽(6),若干所述载板组(200)的边缘与安装槽(6)相契合。

7.如权利要求1所述的一种拼接式硅片载板,其特征在于,还包括凹槽(15),所述放置槽(11)的边缘设置有至少一凹槽(15)。