1.一种硅片载板开槽装置，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）设有两间隔布置的第一丝杆（11），所述第一丝杆（11）设有第一滑块（12），以及驱动所述第一滑块（12）沿所述第一丝杆（11）移动的第一电机（13），所述第一丝杆（11）沿Y轴方向布置；

Y方向平移支架（2），所述Y方向平移支架（2）包括两固设于所述第一滑块（12）的两立板（21）、以及连接两所述立板（21）的横板（22），所述横板（22）沿X轴方向设有第二丝杆（23），所述第二丝杆（23）设有第二滑块，所述立板（21）固设有用于驱动所述第二滑块沿所述第二丝杆（23）移动的第二电机（24）；

X方向平移支架（3），所述X方向平移支架（3）包括固设于所述第二滑块的平移板（31），所述平移板（31）沿Z轴方向设有第三丝杆（32），所述第三丝杆（32）设有第三滑块（33），所述平移板（31）固设有用于驱动所述第三滑块（33）沿所述第三丝杆（32）移动的第三电机（34）；

开槽刀头（4），所述开槽刀头（4）固设于所述第三滑块（33）；

加工平台（5），所述加工平台（5）用于装夹硅片载板板料并通过所述开槽刀头（4）对其进行铣削；

冲孔钻头（6），所述冲孔钻头（6）沿Y轴方向对硅片载板板料进行冲孔工作。

2.根据权利要求1所述的一种硅片载板开槽装置，其特征在于：所述加工平台（5）设有供所述硅片载板板料嵌入的卡槽（51），所述加工平台（5）的其中一侧壁设有若干顶持所述硅片载板板料的顶持件（52）。

3.根据权利要求1所述的一种硅片载板开槽装置，其特征在于：所述底板（1）沿X轴方向设有滑轨（14），所述冲孔钻头（6）沿所述滑轨（14）可滑动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片载板开槽装置，其特征在于：所述底板（1）沿X轴方向固设有两间隔布置的支撑块（18），所述加工平台（5）固设于所述支撑块（18），所述第一滑块（12）设置于所述加工平台（5）和所述底板（1）之间。

5.根据权利要求1所述的一种硅片载板开槽装置，其特征在于：所述立板（21）的上端朝向远离所述冲孔钻头（6）的一侧弯曲，所述横板（22）设置于远离所述冲孔钻头（6）的一侧的末端。

6.根据权利要求1所述的一种硅片载板开槽装置，其特征在于：所述底板（1）沿X轴方向固设有第四丝杆（15），所述第四丝杆（15）设有第四滑块（16），所述底板（1）固设有用于驱动所述第四滑块（16）沿所述第四丝杆（15）移动的第四电机（17）；所述第四滑块（16）固接所述冲孔钻头（6）。