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专利号: 2024221750543
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2025-05-17
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种精密的半导体光刻设备,其特征在于,包括:

光刻机构(1);

防护机构(2),所述防护机构(2)与光刻机构(1)固定连接,所述防护机构(2)包括动力盒(21),所述动力盒(21)内壁的底部固定连接有电机(22),所述电机(22)的输出端固定连接有蜗杆组件(23),所述蜗杆组件(23)的顶部转轴活动连接有挡板(24),所述挡板(24)的外侧与动力盒(21)的内壁固定连接,所述动力盒(21)内壁的背面通过转杆活动连接有收缩轮(25),所述收缩轮(25)的正面固定连接有蜗轮组件(26),所述蜗轮组件(26)与蜗杆组件(23)啮合,所述收缩轮(25)的表面传动连接有传动带(27),所述动力盒(21)内壁的背面通过转杆活动连接有转向轮(28),所述转向轮(28)的表面与传动带(27)传动连接,所述动力盒(21)内壁的左侧固定连接有滑杆(29),所述滑杆(29)的另一侧与动力盒(21)的内壁固定连接,所述滑杆(29)的表面滑动连接有传动杆(210),所述传动杆(210)的顶部延伸至动力盒(21)的外侧,所述传动杆(210)的背面通过滑块滑动连接有限位滑轨(211),所述限位滑轨(211)的背面与动力盒(21)的内壁固定连接,所述传动杆(210)的底部固定连接有拉块组件(212),所述拉块组件(212)的底部与传动带(27)远离收缩轮(25)的一侧传动连接,所述传动杆(210)的背面固定连接有遮罩盖(213),所述滑杆(29)的表面套接有归位弹簧(214),所述归位弹簧(214)的内侧与传动杆(210)的外侧固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种精密的半导体光刻设备,其特征在于:所述光刻机构(1)包括底座(11),所述底座(11)的正面与动力盒(21)的背面固定连接,所述底座(11)的两侧均固定连接有壳体(12),所述壳体(12)的内侧活动连接有光刻组件(13),所述底座(11)的顶部固定连接有光刻平台(14)。

3.根据权利要求2所述的一种精密的半导体光刻设备,其特征在于:所述动力盒(21)的两侧均固定连接有加固板(3),所述加固板(3)的背面与底座(11)的正面固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种精密的半导体光刻设备,其特征在于:所述电机(22)的两侧均固定连接有限位板(4),所述限位板(4)的底部与动力盒(21)的内壁固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种精密的半导体光刻设备,其特征在于:所述滑杆(29)的表面套接有支撑板(5),所述支撑板(5)的背面与动力盒(21)的内壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种精密的半导体光刻设备,其特征在于:所述限位滑轨(211)的顶部与底部均固定连接有连接板(6),所述连接板(6)的背面与动力盒(21)的内壁固定连接。