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专利号: 2024207789351
申请人: 南京信息工程大学
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,包括衬底层,其特征在于,所述衬底层的上方连接有缓冲层,所述缓冲层的上方连接有AlGaN势垒层,所述AlGaN势垒层的上方连接有GaN帽层,所述GaN帽层的左右两侧相对连接有源极与漏极,所述GaN帽层顶部连接有栅极,栅极与GaN帽层之间形成肖特基接触;

所述GaN帽层的顶部连接有SiN钝化层,SiN钝化层左右布设在栅极两侧,且与栅极之间具有一段距离;

所述栅极包括栅帽,所述栅帽的中心位置固定连接有栅脚,且栅帽与栅脚之间相互垂直。

2.根据权利要求1所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述衬底层材质为SiC、Si、蓝宝石中的一种,衬底层厚度设置为20‑100μm。

3.根据权利要求2所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述缓冲层材质为GaN、AlGaN、InAlGaN或InGaN中的任意一种,缓冲层厚度设置为0.8~2μm。

4.根据权利要求3所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述GaN帽层厚度设置为3nm。

5.根据权利要求4所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述SiN钝化层厚度设置为50nm。

6.根据权利要求1所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述栅极到源极的距离Lsg=1μm,栅极到漏极的距离Lgd=3μm。

7.根据权利要求6所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述栅极长度Lg=0.2μm,栅帽长度为0.4μm,栅帽厚度为0.15μm,栅帽宽度为1mm,栅脚高度为0.1μm。

8.根据权利要求7所述的一种具有T型栅结构的GaN基HEMT器件,其特征在于,所述源极和漏极均为欧姆接触。