1.用于硅的刻蚀设备，包括轨道（1）、显影箱（15）、刻蚀箱（9）和清理箱（14），所述轨道（1）上安装有若干个行走车（2），其特征在于：所述行走车（2）的侧壁竖直固定安装有电动丝杠模组（12），所述电动丝杠模组（12）的滑台（16）竖直固定安装有一级负压管道（11），所述一级负压管道（11）水平连通安装有若干个二级负压管道（8），所述二级负压管道（8）通过转动接头（7）连通安装有三级负压管道（6），所述三级负压管道（6）的顶部连通安装有负压吸盘（5）；

所述一级负压管道（11）的侧壁通过轴承座（17）转动安装有转轴（10），所述一级负压管道（11）的侧壁固定安装有减速电机（13），所述减速电机（13）与转轴（10）的一端联接，每个所述三级负压管道（6）和转轴（10）之间安装有传动结构（4），所述清理箱（14）设置有清理装置（3）；

所述传动结构（4）包括驱动链轮（41）、链条（42）和从动链轮（43），所述驱动链轮（41）与转轴（10）固定装配，所述从动链轮（43）与三级负压管道（6）固定装配，所述驱动链轮（41）和从动链轮（43）之间啮合有链条（42）。

2.根据权利要求1所述的用于硅的刻蚀设备，其特征在于：所述二级负压管道（8）为U字形管道。

3.根据权利要求1所述的用于硅的刻蚀设备，其特征在于：所述清理装置（3）包括清理组件、电缸（33）和支撑板（34），所述清理箱（14）的一侧通过光杆（18）滑动安装有支撑板（34），所述支撑板（34）的中心处固定安装有电缸（33），所述电缸（33）的推杆与清理箱（14）固定装配，所述支撑板（34）沿着竖直方向设置有若干个清理组件，所述清理箱（14）的侧壁开设有用于穿过清理组件的通孔，每组所述清理组件包括水平设置的一个烘干管（32）和一个清水管（31），所述清理组件位于清理箱（14）内部的为输出端、位于清理箱（14）外部的为输入端。

4.根据权利要求3所述的用于硅的刻蚀设备，其特征在于：所述烘干管（32）和清水管（31）的输出端连通安装有喷头，位于所述负压吸盘（5）之间的输出端的上下两侧对称安装有喷头。

5.根据权利要求4所述的用于硅的刻蚀设备，其特征在于：工作时各个所述喷头位于晶圆靠近支撑板（34）一侧的四分之一处。