1.一种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置,包括箱体(1)、第一隔板(2)、加料管(8)、进液管(9)、第二隔板(7)和总回液管(16),其特征在于:所述箱体(1)内顶部和内底部之间通过第二隔板(7)进行分隔,所述箱体(1)内壁一端与第二隔板(7)之间靠近底部处连接有第一隔板(2),所述箱体(1)内底部一端通过螺栓安装有伺服电机(3),所述伺服电机(3)的输出端连接有旋转轴(4),所述旋转轴(4)贯穿第一隔板(2)且顶端外侧连接有叶片(5),所述箱体(1)内顶部靠近所述第二隔板(7)一端处通过固定座安装有水泵(10),所述水泵(10)的进液口连接有吸液管(11),所述吸液管(11)位于第一隔板(2)顶部一端上侧,所述总回液管(16)底端两侧分别连接有第一分回液管(13)和第二分回液管(14),所述第一分回液管(13)底端位于箱体(1)内底部一端。
2.根据权利要求1所述的一种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置,其特征在于:所述第一分回液管(13)和第二分回液管(14)上均设置有流量调节阀(15)。
3.根据权利要求1所述的一种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置,其特征在于:所述箱体(1)一端通过连接杆固定有铜离子检测仪(6),所述铜离子检测仪(6)的检测端位于第一隔板(2)顶部一端上侧。
4.根据权利要求1所述的一种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置,其特征在于:所述箱体(1)顶部一端通过安装孔设置有进液管(9)和加料管(8),所述进液管(9)和加料管(8)底端均位于叶片(5)上端。
5.根据权利要求1所述的一种应用于蚀刻设备的蚀刻液循环装置,其特征在于:所述水泵(10)的出液端连接有出液管(12),所述箱体(1)一侧通过螺钉固定有侧板(17),所述箱体(1)内壁一端通过固定槽安装有电极柱(18)。