利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2024201065360
申请人: 南京诺佳康商贸有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-10-27
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种半导体衬底的处理装置,其特征在于,包括:

主体单元(100),其包括承重板(101)以及固定连接在承重板(101)上表面的支撑板(104),所述支撑板(104)一侧固定连接有倾斜支板(105);

打磨清洁单元(200),其包括倾斜支板(105)一侧固定连接有安装板(201)以及固定连接有安装板(201)一侧的支撑板(104)一侧,所述承重板(101)内镂空设置有安放槽(216),所述安放槽(216)内滑动连接有卡合块(209),所述卡合块(209)一侧固定连接有限位板(206),所述限位板(206)内螺纹连接有转动轴(211),所述承重板(101)上表面滑动连接有L形盛放板(207),所述安装板(201)固定连接有引导杆(203),所述安装板(201)内表面转动连接有丝杆(202),所述丝杆(202)外表面螺纹连接有滑动块(218),所述滑动块(218)内滑动连接有引导杆(203)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体衬底的处理装置,其特征在于:所述承重板(101)下表面固定连接有卡合框(102),所述卡合框(102)下表面卡合连接有连接箱(103),所述连接箱(103)一侧通过合页固定连接有维修门(106),所述倾斜支板(105)数量为两组,且两组倾斜支板(105)均关于支撑板(104)中心对称。

3.根据权利要求1所述的一种半导体衬底的处理装置,其特征在于:所述支撑板(104)一侧固定连接有放置块(214),所述放置块(214)上表面固定连接有伺服电机(215),所述伺服电机(215)一端固定连接有丝杆(202)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体衬底的处理装置,其特征在于:所述滑动块(218)下表面固定连接有电动伸缩杆(204),所述电动伸缩杆(204)下表面固定连接有驱动电机(219),所述驱动电机(219)输出轴一端固定连接有打磨盘(220)。

5.根据权利要求2所述的一种半导体衬底的处理装置,其特征在于:所述支撑板(104)下表面滑动连接有清洁板(205),所述清洁板(205)下表面固定连接有毛刷,所述支撑板(104)内固定连接有限制板(212),所述限制板(212)内螺纹连接有调节轴(213)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体衬底的处理装置,其特征在于:所述限制板(212)一侧固定连接有轴杆,所述调节轴(213)内转动连接有轴杆,所述L形盛放板(207)内固定连接有轴承(217),所述轴承(217)内转动连接有转动轴(211),所述连接箱(103)内固定连接有放置板(208),所述卡合块(209)内螺纹连接有限位螺杆(210)。