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专利号: 2023232461434
申请人: 无锡市芯飞通光电科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-09-11
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片晶圆加工用切割设备,包括设备台(1),其特征在于,所述设备台(1)顶部依次安装有切割架(4)、支台(3)以及水盒(2),所述切割架(4)上安装有切割头(6),所述支台(3)顶部的支板A(7)之间转动安装有切割台(5),所述切割台(5)位于水盒(2)一侧上方,且切割台(5)底部设有调节组件(8);

所述调节组件(8)包括铰接在切割台(5)底部的两处支板B(83),所述支板B(83)的底部铰接在活动块(82)顶部,所述活动块(82)螺纹连接在丝杆(81)外部,两处所述丝杆(81)转动连接在支台(3)内腔中并通过对接的同步组件(9)进行同步转动,其中一处所述丝杆(81)对接有把手。

2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,所述同步组件(9)包括在支台(3)内腔中转动连接的两处同步头(91),且同步头(91)之间连接有同步带(92),并且同步头(91)对接丝杆(81)的转轴。

3.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,所述切割台(5)的顶部安装有一处吹风盒(52),所述吹风盒(52)对着水盒(2)方向设有一排出风嘴,且吹风盒(52)通过软管对接有风机A(53),所述风机A(53)固定在切割架(4)侧壁。

4.根据权利要求3所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,吹风盒(52)两侧固定有挡护板(51),且挡护板(51)对称固定在切割台(5)表面。

5.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,所述水盒(2)的顶部安装有一处挡护围板(21),所述挡护围板(21)在靠近切割台(5)的那一侧设有开口,且挡护围板(21)的顶部安装有风机B(22)。

6.根据权利要求5所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,所述水盒(2)靠近切割台(5)的顶部安装有斜面板(26),且斜面板(26)与挡护围板(21)内壁固定连接。

7.根据权利要求5所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,所述挡护围板(21)的正面铰接有一处密封板(25),且密封板(25)用于打开对挡护围板(21)内部进行清理。

8.根据权利要求5所述的一种芯片晶圆加工用切割设备,其特征在于,所述水盒(2)的底端安装有一处搅拌电机(24),且搅拌电机(24)对接水盒(2)内部转动安装的搅拌器(23)。