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专利号: 2022231714648
申请人: 苏州八术激光技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-22
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.晶圆切割设备,包括固定支架(1),其特征在于:所述固定支架(1)的内侧通过支板固定连接有切割推杆(2),所述切割推杆(2)的一端固定连接有切割机构(3),所述固定支架(1)的底端面内侧固定连接有固定底座(4),所述固定支架(1)的顶端面内侧固定连接有电动推杆(5),所述电动推杆(5)的另一端固定连接有压力传感器(6),所述压力传感器(6)的另一侧固定连接有活动底座(7),所述固定底座(4)的内侧与活动底座(7)的内侧均转动连接有防护球(8),所述固定支架(1)的后端面固定连接有送料推杆(9),所述送料推杆(9)的另一端固定连接有送料推板(10),所述固定支架(1)的后端面固定连接有除尘器(11)。

2.根据权利要求1所述的晶圆切割设备,其特征在于:所述防护球(8)的个数为多个,且所述防护球(8)呈均匀等间距分布。

3.根据权利要求1所述的晶圆切割设备,其特征在于:所述除尘器(11)的一侧连通有除尘管(12),所述除尘管(12)的另一端连通有除尘罩(13)。

4.根据权利要求1所述的晶圆切割设备,其特征在于:所述固定支架(1)的顶部内侧设有调节支架(14),所述调节支架(14)的一侧固定连接有激光灯(15),所述固定支架(1)的顶端面内侧开设有调节滑槽(16),且所述调节支架(14)通过调节滑块滑动连接于调节滑槽(16)。

5.根据权利要求4所述的晶圆切割设备,其特征在于:所述固定支架(1)的顶端面与底端面内侧均固定连接有刻度表(17),且位于下方的所述刻度表(17)位于激光灯(15)的正下方。

6.根据权利要求4所述的晶圆切割设备,其特征在于:所述调节支架(14)的内侧螺旋连接有限位旋钮(18),所述限位旋钮(18)的一端转动连接有防滑垫(19)。

7.根据权利要求1所述的晶圆切割设备,其特征在于:所述切割机构(3)包括安装支架,且所述切割推杆(2)的一端固定连接有安装支架,所述切割推杆(2)通过安装支架固定连接有切割电机。