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专利号: 2022217547307
申请人: 上海祎丰环保科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2025-02-20
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种芯片晶圆加工用切割装置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的上表面上设置有凹槽(2),所述凹槽(2)内部设置有多个挡板(1001),所述凹槽(2)内部设置有用于移动挡板(1001)的移动机构,所述底座(1)的上表面上固定连接有两个支撑板(3),两个所述支撑板(3)之间设置有用于切割的切割机构,两个所述支撑板(3)之间设置有用于清理碎屑的清理机构,所述底座(1)的侧面设置有用于控制移动机构运转的动力机构。

2.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述移动机构包括滑动连接在凹槽(2)底部的多个移动块(10),多个所述移动块(10)的上表面均与挡板(1001)固定连接,多个所述移动块(10)侧面均设置有通孔(1002),所述通孔(1002)贯穿移动块(10)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述清理机构包括固定连接在其中一个支撑板(3)侧面的通气管(4),另一个所述支撑板(3)侧面设置有圆孔(301),所述通气管(4)穿过圆孔(301)内部并延伸至支撑板(3)侧面,所述通气管(4)的侧面设置有通气孔(401),所述通气孔(401)贯穿通气管(4),所述通气孔(401)的侧面设置有多个导气孔(402),每个所述导气孔(402)内部均固定连接有出气管(7),所述出气管(7)与通气孔(401)连通。

4.根据权利要求3所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述切割机构包括固定连接在通气管(4)侧壁的连接板(5),所述连接板(5)的侧面设置有滑动孔(501),所述通气管(4)位于滑动孔(501)颞部,所述连接板(5)的下表面上固定连接有切割器(6)。

5.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述动力机构包括固定连接在底座(1)侧面的支撑台(11),所述支撑台(11)的上表面上固定连接有电机(12),所述底座(1)侧面设置有连接孔(101),所述凹槽(2)的侧壁转动连接有旋转杆(8),所述旋转杆(8)原远离凹槽(2)的一端穿过连接孔(101)和通孔(1002)并与电机(12)的输出轴末端固定连接,所述旋转杆(8)的侧面套设有第一锥齿轮(801),所述凹槽(2)的侧面转动连接有第一转动杆(901),所述第一转动杆(901)远离凹槽(2)侧面的一端穿过通孔(1002)并固定连接有第二锥齿轮(903),所述凹槽(2)的侧面转动连接有第二转动杆(902),所述第二转动杆(902)远离凹槽(2)侧面的一端穿过通孔(1002)并固定连接有第三锥齿轮(904)。

6.根据权利要求2所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述挡板(1001)的数量为四个,四个所述挡板(1001)的侧面均设置有缓冲垫。

7.根据权利要求5所述的一种芯片晶圆加工用切割装置,其特征在于:所述旋转杆(8)第一转动杆(901)和第二转动杆(902)侧面均设置有螺纹,多个所述通孔(1002)内部均设置有与之相适配的螺纹,所述旋转杆(8)分别与第一转动杆(901)和第二转动杆(902)的夹角为九十度,所述第一锥齿轮(801)分别与第二锥齿轮(903)和第三锥齿轮(904)啮合。