利索能及
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专利号: 202323216827X
专利类型:实用新型
专利状态:未下证
专利领域: 暂无
更新日期:2024-07-30
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体器件的金属互连结构,其特征在于,包括基座(1),所述基座(1)的上表面固定连接有接线盘(2),所述接线盘(2)的内壁固定连接有基板(9),所述基板(9)的上表面固定连接有一组金属线(10),所述基板(9)的正面与基板(9)的背面均固定连接有一组金属球(8),所述基板(9)的上表面固定连接有金属板(7),所述金属板(7)的上表面固定连接有散热板(4),所述散热板(4)的上表面开设有一组金属孔(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体器件的金属互连结构,其特征在于,所述金属板(7)的上表面固定连接有防护圈(3),所述防护圈(3)的内壁固定连接有氮化硅防护层(11)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体器件的金属互连结构,其特征在于,所述金属板(7)的上表面固定连接有防护圈(3),所述防护圈(3)的内壁固定连接有氮化硅防护层(11)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体器件的金属互连结构,其特征在于,所述散热板(4)的上方设有参数标签(12),所述参数标签(12)的底面与散热板(4)的上表面固定连接。