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专利号: 2023225792678
申请人: 西安翰源辰芯半导体技术有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-10-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,包括操作台(1),其特征在于:所述操作台(1)的顶部安装有线切割机(2);

所述线切割机(2)的内侧放置有方盒(3),所述方盒(3)的两侧贯穿开设有导槽(4),所述导槽(4)的内侧放置有导杆(5),所述导杆(5)的外侧装套有圆板(6),且圆板(6)贴合方盒(3)的两侧放置,两个所述导杆(5)之间安装有抽拉板(7),且抽拉板(7)位于方盒(3)的内侧,所述导槽(4)的内侧贯穿所述抽拉板(7)的内侧放置有插杆(8),所述插杆(8)的右端安装有拉环(9),所述方盒(3)的背面安装有弯杆(11),所述弯杆(11)的内部贯穿安装有支环(12),所述弯杆(11)的两侧安装有挂钩(13),所述方盒(3)的背面安装有橡胶板(14),所述橡胶板(14)的两侧安装有挂绳(15),所述抽拉板(7)的背面通过连接部件安装有握环(16)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,其特征在于:所述线切割机(2)的右侧安装有两个线切割头(10),且线切割头(10)位于抽拉板(7)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,其特征在于:所述操作台(1)的背面安装有凹板(17),凹板(17)的内侧嵌合放置有盒体(18)。

4.根据权利要求3所述的一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,其特征在于:所述盒体(18)的顶部开设有多个放置槽(20),且每个放置槽(20)的槽口宽窄不一。

5.根据权利要求4所述的一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,其特征在于:所述放置槽(20)的两侧内壁开设有通槽(21)。

6.根据权利要求5所述的一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,其特征在于:所述通槽(21)的内侧放置有方板(22),每两个方板(22)之间安装有挡套(23),且每个挡套(23)的大小适配于放置槽(20)的槽口。

7.根据权利要求6所述的一种半导体集成电路芯片用晶棒线切割设备,其特征在于:所述盒体(18)的两侧安装有握把(19),挡套(23)的顶部安装有拉把(24)。