欢迎来到利索能及~ 联系电话:18621327849
利索能及
我要发布
收藏
专利号: 2023216753547
申请人: 江西建邦装配式建筑有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
专利领域: 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕
更新日期:2024-10-29
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种PE管的外部快速气相沉积装置,包括一级沉积室(1),其特征在于:所述一级沉积室(1)的上方设置有排气涡轮(2),所述一级沉积室(1)内对应排气涡轮(2)的上方设置有吸气口(3),所述一级沉积室(1)内部的底部设置有调整丝杆(4),所述调整丝杆(4)上设置有两个二级沉积室(5),所述一级沉积室(1)的下方设置有供气盒(6)。

2.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述一级沉积室(1)包括外壳(11),所述外壳(11)的左侧内部设置有隔离板(12),所述外壳(11)的左侧端部设置有入口端板(13),所述入口端板(13)的左侧设置有滚动轮(14),所述外壳(11)的右侧端部设置有出口端板(15),所述出口端板(15)的右侧设置有缓冲塞(16)。

3.根据权利要求2所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述隔离板(12)与外壳(11)截面形状适配,其与中部待加工靶管间相对密封,隔断外壳(11)内部空间。

4.根据权利要求2所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述滚动轮(14)为以靶棒轴线中心对称设置的三个夹持轮,其上方的轮轴耦接驱动电机。

5.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述调整丝杆(4)左侧部分设置有槽纹,两个二级沉积室(5)分别耦接在左侧有槽纹外和右侧无槽纹外,并与一级沉积室(1)下底面的固定槽适配。

6.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述二级沉积室(5)包括支撑环(51),所述支撑环(51)的下方设置有进气口(52),所述支撑环(51)内设置有环形气腔(53),所述环形气腔(53)对应支撑环(51)中间高度位置设置有向内的两个出气口(54),所述支撑环(51)的侧面设置有与待加工靶管适配的密封环(55),所述进气口(52)下端设置有安装座(56)。

7.根据权利要求6所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述环形气腔(53)与支撑环(51)形状适配,下部与进气口(52)连通。

8.根据权利要求6所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述安装座(56)内设置有相应与供气盒(6)连接的气管及与调整丝杆(4)适配的螺纹。

9.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述供气盒(6)内设置有相应的加热丝及对应的气路软管与两个二级沉积室(5)相连。