1.一种PE管的外部快速气相沉积装置,包括一级沉积室(1),其特征在于:所述一级沉积室(1)的上方设置有排气涡轮(2),所述一级沉积室(1)内对应排气涡轮(2)的上方设置有吸气口(3),所述一级沉积室(1)内部的底部设置有调整丝杆(4),所述调整丝杆(4)上设置有两个二级沉积室(5),所述一级沉积室(1)的下方设置有供气盒(6)。
2.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述一级沉积室(1)包括外壳(11),所述外壳(11)的左侧内部设置有隔离板(12),所述外壳(11)的左侧端部设置有入口端板(13),所述入口端板(13)的左侧设置有滚动轮(14),所述外壳(11)的右侧端部设置有出口端板(15),所述出口端板(15)的右侧设置有缓冲塞(16)。
3.根据权利要求2所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述隔离板(12)与外壳(11)截面形状适配,其与中部待加工靶管间相对密封,隔断外壳(11)内部空间。
4.根据权利要求2所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述滚动轮(14)为以靶棒轴线中心对称设置的三个夹持轮,其上方的轮轴耦接驱动电机。
5.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述调整丝杆(4)左侧部分设置有槽纹,两个二级沉积室(5)分别耦接在左侧有槽纹外和右侧无槽纹外,并与一级沉积室(1)下底面的固定槽适配。
6.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述二级沉积室(5)包括支撑环(51),所述支撑环(51)的下方设置有进气口(52),所述支撑环(51)内设置有环形气腔(53),所述环形气腔(53)对应支撑环(51)中间高度位置设置有向内的两个出气口(54),所述支撑环(51)的侧面设置有与待加工靶管适配的密封环(55),所述进气口(52)下端设置有安装座(56)。
7.根据权利要求6所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述环形气腔(53)与支撑环(51)形状适配,下部与进气口(52)连通。
8.根据权利要求6所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述安装座(56)内设置有相应与供气盒(6)连接的气管及与调整丝杆(4)适配的螺纹。
9.根据权利要求1所述的一种PE管的外部快速气相沉积装置,其特征在于:所述供气盒(6)内设置有相应的加热丝及对应的气路软管与两个二级沉积室(5)相连。