1.一种用于气相沉积的喷头，其特征在于：所述喷头包括多个孔；并且

位于所述喷头的边缘区域的孔向所述喷头的外部倾斜。

2.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：向所述喷头的外部倾斜的孔位于所述喷头的边缘区域内的一圈圆周上。

3.根据权利要求1所述的喷头，其特征在于：向所述喷头的外部倾斜的孔位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上。

4.根据权利要求1-3中任意一项所述的喷头，其特征在于：向所述喷头的外部倾斜的孔向所述喷头的外部倾斜的倾斜角度小于或等于45度。

5.根据权利要求3所述的喷头，其特征在于：位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上的向所述喷头的外部倾斜的孔的倾斜角度相同或从内圈向外圈逐渐增大。

6.根据权利要求1-3所述的喷头，其特征在于：当从所述喷头的顶部向底部看去时，向所述喷头的外部倾斜的孔进一步相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转。

7.根据权利要求6所述的喷头，其特征在于：向所述喷头的外部倾斜的孔沿顺时针或逆时针方向相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转。

8.根据权利要求6所述的喷头，其特征在于：向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转的角度小于或等于45度。

9.根据权利要求6所述的喷头，其特征在于：位于所述喷头的边缘区域内的两圈或更多圈圆周上的向所述喷头的外部倾斜的孔相对于所述喷头沿水平方向的横截面的径向偏转的角度相同或从内圈向外圈逐渐增大，从而形成向外的漩涡状气流。

10.一种气相沉积设备，其特征在于，包括根据权利要求1-9中任意一项所述的喷头。