1.一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于,包括洗涤塔主体(1)、清洁件(4)、水箱(5)和喷头(13),所述洗涤塔主体(1)的一侧设置有进气管(2),且所述洗涤塔主体(1)内部的顶部设置有2组喷淋管(12),所述喷淋管(12)的底端均匀分布有喷头(13),所述喷头(13)下方的洗涤塔主体(1)内均设置有填料(11),所述洗涤塔主体(1)内部的底端设置有水箱(5),且所述水箱(5)内部的中央位置处通过转轴(8)设置有旋转座(6),所述洗涤塔主体(1)的底部固定有旋转驱动机构(7),且所述旋转驱动机构(7)的输出端与转轴(8)连接,所述旋转座(6)的两侧均匀通过缓冲套(10)设置有清洁件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述清洁件(4)的截面均呈弧形结构,且所述清洁件(4)靠近水箱(5)内侧壁的一端均匀分布有清洁刷(22),所述清洁刷(22)均与水箱(5)的内壁接触。
3.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述水箱(5)一侧的洗涤塔主体(1)上固定有水泵(9),且所述水泵(9)的一端通过连接管与喷淋管(12)相连通,所述水泵(9)的另一端延伸至水箱(5)内。
4.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述水箱(5)上方的洗涤塔主体(1)内均匀设置有滤网(3),且所述滤网(3)均采用活性炭材质。
5.根据权利要求4所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述滤网(3)的两侧均固定有滑轨(14),所述洗涤塔主体(1)内部的两侧均匀开设有与滑轨(14)相匹配的滑槽(23)。
6.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述缓冲套(10)的内部均通过缓冲弹簧(20)设置有清洁杆(21),且所述清洁杆(21)的一端均与清洁件(4)连接。
7.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述喷头(13)的顶端均设置有卡块(16),且卡块(16)的外侧均设置有外螺纹,所述喷淋管(12)的底部均匀设置有与卡块(16)相匹配的固定螺纹套。
8.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述喷头(13)的底端均设置有3组喷嘴(19),所述喷头(13)内部的顶端均设置有主通道(15),且主通道(15)上分别通过副通道(17)与喷嘴(19)相连通。
9.根据权利要求8所述的一种半导体制程尾气处理用洗涤塔,其特征在于:所述喷嘴(19)的外侧均设置有均布罩(18),且均布罩(18)均呈圆形多孔结构。