1.一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：包括水箱(1)、泵体(4)、连接盘(8)和清洗筒(10)，所述水箱(1)顶部的中心位置固定有清洗筒(10)，所述清洗筒(10)内部靠近底部的位置固定有连接件(12)，所述清洗筒(10)内部靠近底部的两侧固定有支撑块(19)，所述支撑块(19)上固定有滑轨(18)，所述滑轨(18)的顶部滑动设置有滑块(17)，所述滑块(17)的顶部通过螺栓固定有滤箱(14)，所述滤箱(14)靠近连接件(12)的底部。

2.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述水箱(1)外部底部的一侧连接有排水阀(3)，所述水箱(1)顶部的右侧连接有进水阀(5)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述水箱(1)底部的四周固定有支脚(2)，所述支脚(2)在水箱(1)的底部设置有四个，所述支脚(2)关于水箱(1)的中心位置对称。

4.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)一侧的底部连接有进水管(11)，所述清洗筒(10)另一侧的顶部连接有排气管(7)。

5.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)内部的顶部固定有连接盘(8)，所述连接盘(8)上设置有喷头(9)，所述喷头(9)在连接盘(8)的底部均匀设置有多个。

6.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述水箱(1)内部的底部固定有泵体(4)，所述泵体(4)上连接有连接管(6)，所述连接管(6)的一端穿过清洗筒(10)并延伸到连接盘(8)的顶部。

7.根据权利要求1所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)外部设置有连接轴(16)，所述连接轴(16)上连接有密封门(15)。

8.根据权利要求7所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述清洗筒(10)内部靠近外部的位置固定有安装块(20)，所述安装块(20)上旋有螺纹杆(21)。

9.根据权利要求8所述的一种半导体制程尾气粉尘清洗装置，其特征在于：所述螺纹杆(21)外部插有把手(22)，所述螺纹杆(21)的一端旋入到固定块(13)中。