1.半导体制程尾气处理系统,包括处理箱(1),其特征在于:所述处理箱(1)的背部固定连接有储水箱(2),所述储水箱(2)的表面连通有进水盖(20),所述储水箱(2)的顶部连通有通水管(21),所述通水管(21)远离所述储水箱(2)的一端设有渗水板(22),所述渗水板(22)位于所述处理箱(1)的内部背侧表面,所述渗水板(22)的表面设有呈等间距均匀分布的若干雾化喷头(23);
所述处理箱(1)的内部左右两侧表面设有若干活性炭吸附球(14),所述处理箱(1)的内部顶侧设有颗粒吸附网(10),所述处理箱(1)的内部中侧固定连接有一层滤板(11),所述一层滤板(11)的底部固定连接有小颗粒除尘板(12)。
2.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述处理箱(1)的内部底侧固定连接有二级尾气滤板(13)。
3.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述处理箱(1)的背部中侧固定连接有竖直的支撑板(3),所述支撑板(3)的表面固定套接有进气道(30),所述进气道(30)远离所述支撑板(3)的一端固定连接有集气管(31)。
4.根据权利要求3所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述集气管(31)的底部固定连接有呈十字形分布的通气道(32),所述通气道(32)位于所述处理箱(1)的内部顶侧。
5.根据权利要求4所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述通气道(32)的底部表面开设有呈等间距均匀分布的若干排气喷头(320)。
6.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述处理箱(1)的顶部固定连接有密封盖(4),所述密封盖(4)的底部表面固定连接有防尘滤网(40)。
7.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述处理箱(1)的底部右侧连通有排风箱(5),所述排风箱(5)的顶部安装有排气机(50),所述排风箱(5)的底部右侧连通有排气管(51)。
8.根据权利要求1所述的半导体制程尾气处理系统,其特征在于:所述处理箱(1)的底部固定连接有底座(6)。