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专利号: 202320428123X
申请人: 麦斯克电子材料股份有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2024-12-10
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,包括底座(1),所述底座(1)下端四角处均固定安装有支撑腿(2),所述底座(1)上端顶部固定安装有处理罐(3),所述处理罐(3)右侧设置有废水箱(4),所述处理罐(3)内部设置有过滤罐(5),所述过滤罐(5)内部设置有用于分离杂质的分离组件(6),所述底座(1)下端中部位置固定安装有出水管(7),所述出水管(7)一端连接有螺纹连接管(8),所述螺纹连接管(8)的另一端连接有过滤管(9)。

2.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,所述分离组件(6)包括驱动电机(61),所述驱动电机(61)的输出端贯穿处理罐(3)内部并连接有转动轴(62),所述转动轴(62)下端固定连接有转动块(63),所述转动块(63)外侧固定连接有两组清理刮板(64),两组所述清理刮板(64)下端设置有过滤网(65),所述过滤网(65)外侧固定安装有固定框(66)。

3.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,所述废水箱(4)顶部连通有废水管(10),所述废水管(10)一端贯穿至处理罐(3)和过滤罐(5)的右侧,所述废水管(10)的一端与过滤网(65)一侧相对应。

4.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,所述过滤管(9)靠近螺纹连接管(8)的一端内部设置有过滤板(11),所述过滤板(11)外部固定连接有卡块(12),所述过滤管(9)内部开设有与卡块(12)相适配的卡槽(13)。

5.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,所述出水管(7)靠近螺纹连接管(8)的一端表面设置有第一外螺纹(14),所述过滤管(9)靠近螺纹连接管(8)的另一端表面设置有第二外螺纹(15),所述出水管(7)与过滤管(9)通过第一外螺纹(14)和第二外螺纹(15)与螺纹连接管(8)内部连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,所述底座(1)上端左侧固定安装有支架(16),所述支架(16)上端固定安装有泵体(17),所述泵体(17)的输出端连接有进水管(18),所述进水管(18)远离泵体(17)的一端贯穿至处理罐(3)的内部。

7.根据权利要求1所述的一种用于半导体生产中水回收处理器,其特征在于,所述过滤罐(5)上端靠近过滤罐(5)左侧面开设有进水口(19)。