1.一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，包括内部装有均匀分布的活性炭颗粒的活性炭存储筒(1)，其特征在于，所述活性炭存储筒(1)通过密封圈(2)密封连接有过滤筒(3)，且过滤筒(3)的内壁固定有相适配的过滤网(4)，所述过滤筒(3)的底部内壁粘接有相适配的粘灰贴(5)，且过滤筒(3)上设有自旋式清洁机构，所述自旋式清洁机构包括焊接在过滤筒(3)内壁的横条(6)、转动清洁组件和等距离分布的搅拌组件，所述过滤筒(3)的外壁设有两个对称分布的紧固机构。

2.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，其特征在于，所述转动清洁组件包括通过两个轴承分别与横条(6)和过滤网(4)中心内壁连接的转轴(7)以及依次套接在转轴(7)上的涡轮扇叶(8)和毛刷(9)，且转动清洁组件位于过滤筒(3)内。

3.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，其特征在于，所述搅拌组件由焊接在转轴(7)外壁环形分布的搅拌杆(10)构成，且搅拌组件位于活性炭存储筒(1)内。

4.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，其特征在于，所述紧固机构包括焊接在过滤筒(3)外壁的固定块(11)、螺接在固定块(11)上的紧固螺杆(12)、焊接在活性炭存储筒(1)外壁的铁块(14)和吸合在铁块(14)外壁的永磁铁(15)。

5.根据权利要求4所述的一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，其特征在于，所述紧固螺杆(12)的一端外壁焊接有摇杆(13)，且紧固螺杆(12)的另一端外壁通过轴承与永磁铁(15)的内壁连接。

6.根据权利要求1所述的一种半导体含氦废气的回收处理用过滤装置，其特征在于，所述活性炭存储筒(1)的顶部固定连通有排气管，过滤筒(3)的一侧固定连通有通气管，且活性炭存储筒(1)和过滤筒(3)的底部外壁均焊接有两个支撑块。