1.一种光电探测器,其特征在于:包括玻璃衬底、银纳米颗粒涂层、SU‑8负性光刻胶层、微区电极、钙钛矿薄膜层,所述钙钛矿薄膜层为甲胺铅碘钙钛矿薄膜层,所述钙钛矿薄膜层中形成光致电荷后,分离电子和空穴的最大输运长度在5μm以下,所述微区电极为交错阵列结构。
2.根据权利要求1所述的一种光电探测器,其特征在于:所述SU‑8负性光刻胶层的厚度为20~100nm,所述钙钛矿薄膜层的厚度为0.5~5μm。
3.根据权利要求1所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一,将玻璃衬底依次用丙酮、乙醇、去离子水进行超声清洗,干燥,紫外清洗;
步骤二,将银纳米颗粒旋涂至清洗后的玻璃衬底上,烘干,得到银纳米颗粒涂层覆盖的玻璃衬底;
步骤三,用环戊酮稀释好的SU‑8光刻胶在加热台上振荡溶解,再旋涂至银纳米颗粒涂层覆盖的玻璃衬底上,进行前烘处理,通过紫外光曝光,固化衬底,后烘,在银纳米颗粒涂层表面形成SU‑8负性光刻胶层;
步骤四,在步骤三所得物表面恒速蒸镀银薄膜,蒸镀完成后取出,旋涂RZJ‑304正性光刻胶,进行前烘处理,覆盖预制备掩膜版,进行曝光光刻,后烘后浸入显影液中,使微区图案显现,然后用银刻蚀液刻蚀银薄膜,最后浸入RZJ‑304正性光刻胶剥离液,在SU‑8负性光刻胶层表面形成微区电极;
步骤五,将摩尔比为1~1.5:1的PbI2和MAI溶于DMF中,在50~90℃下搅拌,得到钙钛矿溶液,将其旋涂在步骤四所得物上,在加热台上以80~120℃温度热退火10~30min,在微区电极、SU‑8负性光刻胶层表面形成甲胺铅碘钙钛矿薄膜层。
4.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤三中,SU‑
8溶液光刻胶与环戊酮质量体积比为100~500mg:1mL。
5.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤三中,旋涂转速为500~3000rpm,旋涂时间为5~45s。
6.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤三中,前烘的温度为60~100℃,时间为5~15min。
7.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤三中,后烘温度为50~100℃,后烘时间为5~15min。
8.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤四中,蒸‑4 ‑4镀的真空度为2.0×10 ~8×10 Pa,沉积速率为 旋涂转速为1000~3000r/min,时间为20~40s。
9.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤四中,前烘温度为50~100℃,时间为1~5min,曝光光刻时间为1~15s,后烘温度为50~100℃,时间为1~5min。
10.根据权利要求3所述的一种光电探测器的制备方法,其特征在于:所述步骤五中,旋涂钙钛矿溶液每次取量20~150μL,旋涂转速为1000~2000r/min,时间为5~20s;再在2000~5000r/min转速下转10~30s,并在第15~30s滴加100~150μL的氯苯。