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专利号: 2020101521800
申请人: 电子科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2025-12-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1、首先对石英玻璃基底进行清洗,再对其表面进行处理;

S2、对组分为Ti3C2Tx的MXene胶体溶液进行制备,并将制备好的MXene溶液旋涂在S1处理后的石英玻璃基底上成膜;

S3、用激光直写对S2中得到涂覆有MXene薄膜的石英玻璃基底进行第一次沟道刻划;

S4、在S3处理后的石英玻璃基底上制备CsFAMAPbIBr有机‑无机杂化三阳离子的钙钛矿吸收层;

S5、采用激光直接对S4处理后的样品进行第二次刻划,去移除多余的钙钛矿吸收层;

S6、采用激光直写对S5处理后的样品进行第三次刻划,分离出像素单元,形成钙钛矿成像阵列。

2.按照权利要求1所述的一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,所述S4中制备钙钛矿吸收层的步骤为:先将1.3摩尔混有摩尔比为5%CsI和摩尔比为2.5%PbCl2的PbI2溶于DMF和DMSO混合溶液中作为前驱体溶液,所述DMF与DMSO的体积比为9:1,然后将前驱体溶液以1500转/秒的速度旋转在经S3处理后的石英玻璃基底上,旋涂时间为30秒,将所得的薄膜在70℃条件下退火1min;再将FAI、MABr、MAI、MACl按照FAI:MABr:MAI:MACl=60mg:

2.974mg:4.296mg:6mg的比例溶于1mL异丙醇中,配置成溶液,以1700转/秒的速度旋涂在退火冷却后的石英玻璃基底上,旋涂时间为30秒,最后在150℃下退火15分钟。

3.按照权利要求1所述的一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,在S1中,对石英玻璃基底清洗完成后,需用紫外/臭氧对干燥的石英玻璃基底处理20分钟。

4.按照权利要求1所述的一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,在S2中,旋涂转速1800转/秒,转速加速度为600转/秒,旋涂总时间为20秒。

5.按照权利要求1所述的一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,在S3、S6中,两次所用的激光设置参数相同且为:532nm Nd:YAG激光器,功率为2W。

6.按照权利要求1所述的一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,在S5中,激光设置参数为:532nm Nd:YAG激光器,功率为0.25W。

7.按照权利要求1所述的一种光电探测器阵列制备方法,其特征在于,将S6制备的钙钛矿成像阵列用具有十字图案的近红外激光进行照射,测量所有像素单元的光电流大小,其‑2

中激光波长为808nm,功率为121.0μWcm 。