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专利号: 2022235912578
申请人: 东莞市研尔化工科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种片式集成电路材料退镀单元,其特征在于:包括安装架(1)、沿安装架(1)长度方向间隔设置的若干传送辊组件(2);相邻所述传送辊组件(2)之间设置有清洗组件(3);每一所述传送辊组件(2)包括上传送辊(21)和下传送辊(22);所述清洗组件(3)包括上出水管(31)和下出水管(32),所述上出水管(31)和下出水管(32)均设置有若干朝向相邻传送辊组件(2)的喷头(33),所述安装架(1)的一端设置有烘干组件(4)。

2.根据权利要求1所述的一种片式集成电路材料退镀单元,其特征在于:所述安装架(1)上且位于清洗组件(3)下方设置有排水装置(5),所述排水装置(5)包括收水槽(51)和排水管(52),所述排水管(52)的一端与所述收水槽(51)相连通,所述排水管(52)的另一端连通有废水收集装置。

3.根据权利要求2所述的一种片式集成电路材料退镀单元,其特征在于:所述传送辊组件(2)与排水装置(5)之间设置有过滤网(53)。

4.根据权利要求1所述的一种片式集成电路材料退镀单元,其特征在于:所述清洗组件(3)至少有5组。

5.根据权利要求1所述的一种片式集成电路材料退镀单元,其特征在于:所述安装架(1)上且位于烘干组件(4)出口处设置有冷却风扇(6)。

6.根据权利要求1所述的一种片式集成电路材料退镀单元,其特征在于:所述上传送辊(21)和下传送辊(22)的外周壁设置有橡胶套(23)。