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专利号: 2022228634281
申请人: 江苏阀邦半导体材料科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-14
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种半导体晶片处理设备,包括设备主体箱(1),其特征在于:所述设备主体箱(1)的顶部设置有处理平台(2),所述处理平台(2)的底部设置有支撑柱(3),所述设备主体箱(1)的顶部设置有气泵(5),所述处理平台(2)的底部设置有积液漏斗(10),所述设备主体箱(1)的内部设置有沉淀桶(20),所述设备主体箱(1)的内部设置有储液桶(21),所述储液桶(21)的内部设置有水泵(22),所述处理平台(2)的内部设置有支撑板(16),所述处理平台(2)的一侧开设有限位孔(15),所述限位孔(15)的内壁弧度与出水管道(14)的外壁弧度一致,所述限位孔(15)与出水管道(14)固定插接。

2.根据权利要求1所述的一种半导体晶片处理设备,其特征在于:所述沉淀桶(20)的外侧设置有引流管道(23)。

3.根据权利要求1所述的一种半导体晶片处理设备,其特征在于:所述支撑柱(3)的底部设置有固定块(4),所述支撑柱(3)通过固定块(4)与设备主体箱(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体晶片处理设备,其特征在于:所述气泵(5)的顶部设置有排气管道(6),所述气泵(5)的外侧设置有进气口(19),所述排气管道(6)的一侧设置有排风拓展口(7),所述排风拓展口(7)的底部设置有多组气喷头(8),所述多组气喷头(8)在排风拓展口(7)的底部呈线性分布,所述排风拓展口(7)的一侧设置有密封箍(9),所述密封箍(9)的内壁弧度与排气管道(6)的外壁弧度一致,所述密封箍(9)与排气管道(6)固定插接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体晶片处理设备,其特征在于:所述积液漏斗(10)的底部设置有密封接头(11),所述密封接头(11)的底部设置有排水管道(12),所述排水管道(12)的外侧设置有排水阀门(13)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体晶片处理设备,其特征在于:所述水泵(22)的顶部设置有出水管道(14),所述水泵(22)的外侧设置有入水口(25),所述储液桶(21)的外壁开设有固定孔(24),所述固定孔(24)的内壁弧度与引流管道(23)的外壁弧度一致,所述固定孔(24)与引流管道(23)固定插接。

7.根据权利要求1所述的一种半导体晶片处理设备,其特征在于:所述支撑板(16)的顶部开设有多组通槽(17),所述多组通槽(17)在支撑板(16)的顶部呈线性分布,所述处理平台(2)的内壁开设有固定槽(18),所述固定槽(18)的内壁尺寸与支撑板(16)的外壁尺寸一致,所述固定槽(18)与支撑板(16)固定插接。