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专利号: 2022226167561
申请人: 西安共进光电技术有限责任公司(CN)
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-09
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种单片式晶圆清洗设备,包括壳体(100),所述壳体(100)的外壁前端铰接有箱门(101),所述箱门(101)的内壁中心处固定有隔板(110),其特征在于:所述隔板(110)的外壁顶端设置有清洗组件;

所述清洗组件包括清洗台(300)、夹持部件和排水部件,所述清洗台(300)的外壁底端与隔板(110)的外壁顶端固定连接,所述夹持部件设置在清洗台(300)内,所述排水部件设置在清洗台(300)且位于夹持部件的外壁底端下方。

2.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述壳体(100)的内壁底端且位于隔板(110)的下方设置有储水箱(200),所述储水箱(200)的外壁前端上部开设有注水口,所述壳体(100)的内壁底端且位于储水箱(200)的右侧设置有水泵(210),所述水泵(210)的外壁左侧通过吸水管与储水箱(200)的内壁右侧底部连通。

3.根据权利要求2所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述壳体(100)的外壁顶端且位于清洗台(300)的正上方设置有中转座(220),所述水泵(210)的外壁顶端通过输水管与中转座(220)的内壁右侧连通,所述壳体(100)的内壁顶端且位于中转座(220)的下方设置固定有输水座(230),所述输水座(230)的内壁顶端与中转座(220)的内壁底端通过管道连通。

4.根据权利要求3所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述输水座(230)的外壁边缘处固定连通有喷洒管(240),多个所述输水座(230)通过阵列的方式布置在输水座(230)的外壁,所述喷洒管(240)远离输水座(230)的一端均固定连通有喷嘴(241)。

5.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述清洗台(300)的外壁顶端开设有清洗槽(301),多个所述清洗槽(301)通过阵列的方式布置在清洗台(300)的外壁顶端,所述夹持部件包括左夹持架(321)和右夹持架(330),所述左夹持架(321)与右夹持架(330)分别设置在清洗槽(301)的内壁两侧。

6.根据权利要求5所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述清洗槽(301)的内壁左侧在与左夹持架(321)对应位置处开设有空槽,所述空槽的内部固定有驱动电机(320),所述驱动电机(320)的外壁右侧通过输出轴与左夹持架(321)的外壁左侧固定连接。

7.根据权利要求6所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述右夹持架(330)的外壁右侧均转动连接有连杆(331),所述连杆(331)的外壁套设有弹簧,所述清洗台(300)的内壁且位于清洗槽(301)的右侧开设有储存槽(340),所述连杆(331)远离右夹持架(330)的一端均穿过清洗槽(301)的右侧内壁并与储存槽(340)的内壁左侧滑动连接,所述储存槽(340)的内壁底端且位于连杆(331)的右侧滑动连接有挡块(342),所述挡块(342)的外壁顶端均固定有拉杆(341)。

8.根据权利要求5所述的一种单片式晶圆清洗设备,其特征在于:所述排水部件包括排水槽(350),所述排水槽(350)开设在清洗台(300)的内壁且位于清洗槽(301)的底端外壁下方,所述清洗槽(301)的内壁底端在与排水槽(350)连接处均开设有排水孔(351),所述清洗台(300)的外壁左侧且与排水槽(350)对应位置处固定连通有排水管。