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专利号: 202222084968X
申请人: 华林科纳(江苏)半导体设备有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-05-07
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构,包括水箱(2)、喷嘴(12)和喷淋管道(11),其特征在于:所述水箱(2)的外侧设置有安装箱(1),所述安装箱(1)的四个靠拐角处均设置有安装块(15),四个所述安装块(15)上均开设有安装孔,所述水箱(2)的左上端连接有入水管道(4),所述水箱(2)的右下端连接有输送水管(9),所述水箱(2)的左下端连接有排污管道(8),所述排污管道(8)上设置有阀门,所述排污管道(8)的末端穿过安装箱(1)的左侧壁,所述输送水管(9)的一端穿过安装箱(1)的右侧壁并与外部的转换接头(10)相连接,所述转换接头(10)的右端与喷淋管道(11)的一端相连接,所述喷淋管道(11)的顶部连接有支撑块(13),所述喷淋管道(11)的底部安装有多个喷嘴(12),所述水箱(2)的内部靠上端设置有过滤广口漏斗(5),所述过滤广口漏斗(5)的内部设置有第一过滤层(6),所述第一过滤层(6)的正下方设置有第二过滤层(7),所述水箱(2)的底部设置有支撑台(3),所述支撑台(3)的底部与安装箱(1)的内部底端相连接,所述水箱(2)的顶部中间处开设有取渣口(16),所述取渣口(16)的末端塞设有封盖(17),所述输送水管(9)上安装有输水泵(14)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构,其特征在于:所述入水管道(4)的上端穿过安装箱(1)的左上端并向外延伸。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构,其特征在于:所述第一过滤层(6)为过滤网层。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构,其特征在于:所述第二过滤层(7)为活性炭层。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构,其特征在于:所述封盖(17)的上端设置有橡胶提手(18)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆单片式清洗机的喷淋管结构,其特征在于:所述过滤广口漏斗(5)的底部高度要高于输送水管(9)的入水口高度。