1.晶圆清洗设备,包括支撑块(1),其特征在于:所述支撑块(1)的顶部设置有清洁装置(2),所述支撑块(1)的顶部固定连接有工作台(3),所述支撑块(1)的顶部固定连接有环形滑板(4),所述环形滑板(4)的内表面开设有环形滑道,且环形滑道的内表面滑动连接有环形管(5),所述环形管(5)的外表面固定连通有短管(6),所述短管(6)的底部固定连通有气垫(7),所述短管(6)的外表面固定连接有第一连接杆,且第一连接杆远离短管(6)的一端固定连接有软胶块(8)。
2.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备,其特征在于:所述支撑块(1)的外表面开设有换气通道(9),所述换气通道(9)的内表面活动连接有活动杆(10),所述环形管(5)的外表面固定连通软管(11),所述软管(11)远离环形管(5)的一端与换气通道(9)的内表面固定连通,所述软管(11)的内部设置有第一撑杆,且第一撑杆的底部固定连接有第一弹簧,并且第一弹簧的底端固定连接有第一挡气块(12),所述软管(11)的内部设置有第一环形块(13),所述第一环形块(13)的内表面与第一挡气块(12)的外表面相贴合,所述支撑块(1)的内壁固定连通有出气管(14),所述出气管(14)的内部设置有第二撑杆,且第二撑杆的底部固定连接有第二弹簧,并且第二弹簧的底端固定连接有第二挡气块(15),所述出气管(14)的内部设置有第二环形块(16),所述第二环形块(16)的内表面与第二挡气块(15)的外表面相贴合。
3.根据权利要求2所述的晶圆清洗设备,其特征在于:所述软管(11)的外表面固定连通有进气管(17),所述进气管(17)的内部设置有第三撑杆,且第三撑杆的左侧固定连接有第三弹簧,并且第三弹簧的左端固定连接有第三挡气块(18),所述进气管(17)的内部设置有第三环形块(19),所述第三环形块(19)的内表面与第三挡气块(18)的外表面相贴合,所述第三挡气块(18)的左侧固定有短杆(20)。
4.根据权利要求1所述的晶圆清洗设备,其特征在于:所述支撑块(1)的右侧固定连接有支撑板(21),所述支撑板(21)的顶部开设有第一圆孔,且第一圆孔的内表面固定连接有轴承,并且轴承的内表面固定连接有螺纹杆(24),所述螺纹杆(24)的外表面固定连接有第一锥形齿轮(25),所述支撑板(21)的顶部固定连接有方形滑板(22),所述方形滑板(22)的外表面开设有第二圆孔,且第二圆孔的内表面活动连接有转杆(27),所述转杆(27)的左端固定连接有第二锥形齿轮(26),所述第二锥形齿轮(26)的外表面与第一锥形齿轮(25)的外表面啮合连接。
5.根据权利要求4所述的晶圆清洗设备,其特征在于:所述方形滑板(22)的内表面滑动连接有长板(23),所述长板(23)的顶部开设有螺纹孔,且螺纹孔的内表面与螺纹杆(24)的外表面螺纹连接。
6.根据权利要求5所述的晶圆清洗设备,其特征在于:所述长板(23)远离方形滑板(22)的一侧固定连接有第二连接杆,且第二连接杆远离长板(23)的一侧固定有隔离罩(28),所述隔离罩(28)的底部与支撑块(1)的顶部相适配。