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专利号: 2022209522276
申请人: 广州市鸿浩光电半导体有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-11-04
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种化学气相沉积石墨化一体炉,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)的顶部连接有炉体(2),所述炉体(2)的内壁连接有保温层(3),所述保温层(3)的内壁缠绕连接有加热丝(4),所述炉体(2)的炉膛内设有沉积室(5),所述沉积室(5)上端开口,所述沉积室(5)的底部连通有导气管(6),所述导气管(6)穿过炉体(2)底部并伸出底座(1),所述炉体(2)的外壁左右两侧连接有支撑座(7),所述支撑座(7)的顶部连接有液压杆(8),所述液压杆(8)的上端共同连接有炉盖(9);

所述炉盖(9)中心嵌设有排气筒(10),所述排气筒(10)外壁伸入炉体(2)内腔的一端连接有环形压盖(11),所述环形压盖(11)下表面抵接沉积室(5)开口,所述排气筒(10)的顶部连接有电机(12),所述电机(12)的底部动力输出端连接有竖轴(13),所述竖轴(13)外壁连接有螺旋叶片(14),所述炉盖(9)的顶部连接有过滤盒(15),所述过滤盒(15)内安装有滤芯(16),所述过滤盒(15)与排气筒(10)上端之间连通有排气管(17)。

2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积石墨化一体炉,其特征在于:所述炉盖(9)的顶部安装有空气泵(901),所述空气泵(901)的端部安装有抽气管(902),所述抽气管(902)下端伸入炉体(2)内腔。

3.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积石墨化一体炉,其特征在于:所述导气管(6)的下端安装有流量控制阀。

4.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积石墨化一体炉,其特征在于:所述沉积室(5)的四周侧壁开设有若干个通气孔(501),所述通气孔(501)内安装有滤网。

5.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积石墨化一体炉,其特征在于:所述保温层(3)采用耐火砖制成且内部设置有相互连通的横向孔道和竖向孔道。

6.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积石墨化一体炉,其特征在于:所述炉体(2)的外壁安装有控制面板(101),所述控制面板(101)电性连接加热丝(4)、液压杆(8)、电机(12)和空气泵(901)。