1.一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:包括阴极P+区(1)、阴极N+区(2)、阴极P‑base区(3)、漂移区(4)、阳极N‑buffer区(5)、阳极P‑collector区(6)、栅极氧化层(7)、多晶硅栅极(8)、主栅(9)、场氧化层(14)、发射极金属电极(15)、集电极金属电极(16),其特征在于,该器件还包括辅助耗尽栅(10)、P柱(11)、阳极介质隔离槽(12)、阳极N‑collector(13);
所述阴极P+区(1)与阴极N+区(2)相邻,它们共同位于阴极P‑base区(3)的上方;所述阴极P‑base区(3)的下方为漂移区(4);所述栅极氧化层(7)与阴极P‑base区(3)、漂移区(4)、P柱(11)相邻;所述多晶硅栅极(8)被栅极氧化层(7)完全包裹,它们共同组成主栅(9);所述阳极P‑collector区(6)位于阳极N‑buffer区(5)下方,阳极N‑buffer区(5)上方为漂移区(4);
所述辅助耗尽栅(10)由栅极氧化层(7)、多晶硅栅极(8)组成;所述辅助耗尽栅(10)与主栅(9)相对,部分P柱(11)位于它两之间;
所述阳极N‑collector(13)在P柱(11)的下方;所述阳极氧化隔离槽(12)位于阳极N‑buffer区(13)与阳极P‑collector区(6)之间;
发射极金属电极(15)与阴极P+区(1)、阴极N+区(2)、P柱(11)直接接触,位于它们的上方;发射极金属电极(15)右侧是场氧化层(14);集电极金属电极(16)与阳极P‑collector区(6)、阳极介质隔离槽(12)、阳极N‑collector(13)直接接触,位于它们的下方。
2.根据权利要求1所述的一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:所述主栅(9)与辅助耗尽栅(10)相连,其中主栅(9)提供电子的导电沟道,辅助耗尽栅(10)提供自适应的电阻。
3.根据权利要求1所述的一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:多晶硅栅极(8)掺N型杂质能够辅助耗尽P柱区域。
4.根据权利要求1所述的一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:所述辅助耗尽栅(10)在器件导通时耗尽P柱(11)形成自适应的电阻从而阻挡空穴,在器件关闭时辅助耗尽栅(10)不工作,自适应电阻消失,从而辅助抽取空穴。
5.根据权利要求3所述的一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:所述辅助耗尽栅(10)在器件导通时增强发射极侧的电导调制效应从而降低通态压降,在器件关闭时降低关断损耗。
6.根据权利要求1所述的一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:所述阳极氧化隔离槽(12)将阳极N‑buffer区(5)与阳极P‑collector区(6)同阳极N‑collector(13)隔离开来。
7.根据权利要求1所述的一种集成辅助耗尽栅的低功耗RC‑IGBT器件,其特征在于:所述栅极氧化层(7)的厚度根据需要调整。