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专利号: 2022109002543
申请人: 河南科技大学
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-04-09
缴费截止日期: 暂无
联系人

摘要:

权利要求书:

1.一种蓝色铜合金薄膜的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:

‑3 ‑3

(1)取Cu‑Mo‑Zr复合靶置于真空室内抽真空,在真空度达到1*10 ~9*10 Pa后,向真空室内通入高纯氩气;

(2)在真空室气压达到0.3‑1.0MPa后,采用直流磁控溅射镀膜机使Cu‑Mo‑Zr复合靶溅射沉积于基体上,即得所述蓝色铜合金薄膜,溅射沉积时间为5‑15min,以质量百分比计,蓝色铜合金薄膜中Cu含量为60‑85%,Mo含量为10‑20%,Zr含量为5‑20%,蓝色铜合金薄膜的厚度为75‑300nm。

2.如权利要求1所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法,其特征在于,所述直流磁控溅射镀膜机为JCP‑350直流磁控溅射镀膜机。

3.如权利要求1所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法,其特征在于,所述基体为玻璃、聚酰亚胺、硅片、PET中的任意一种。

4.如权利要求3所述的一种蓝色铜合金薄膜的制备方法,其特征在于,所述基体在使用前进行预处理:将基体依次经丙酮和去离子水清洗后,用氮气吹干。