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专利号: 2022108558913
申请人: 山东中清智能科技股份有限公司
专利类型:发明专利
专利状态:已下证
更新日期:2026-07-01
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种晶圆的切割方法,其特征在于,包括以下步骤:

提供第一半导体晶圆(100),所述第一半导体晶圆(100)包括多个呈阵列排布的芯片区域(101),以及围绕每个所述芯片区域(101)的切割区域(102);

对所述第一半导体晶圆(100)进行第一刻蚀处理,以在每个所述芯片区域(101)的上表面形成多个分立设置的塑封固定槽(201);

对所述第一半导体晶圆(100)进行第二刻蚀处理,以在每个所述芯片区域(101)的上表面形成多个分立设置的热扩散槽(202),使得相邻两个所述塑封固定槽(201)之间的热扩散槽(202)的个数不小于两个;

第二刻蚀处理之后,对所述第一半导体晶圆(100)进行第一切割处理,以在相邻两个所述芯片区域(101)之间的所述切割区域(102)中形成两个镂空部,且两个所述镂空部之间的切割区域(102)未被切割处理而作为第一固定部(1021),所述第一固定部(1021)连接相邻的两个所述芯片区域(101);

对所述第一半导体晶圆(100)进行塑封处理,以形成塑封层(300),所述塑封层(300)包裹每个所述芯片区域101,且填满所述镂空部、所述塑封固定槽(201)和所述热扩散槽(202);去除所述热扩散槽(202)中的塑封料,接着在所述热扩散槽(202)中沉积金属材料,以形成导热块(400);

再次沿着所述切割区域(102)对第一半导体晶圆(100)进行第二切割处理,以形成多个分离的单芯片封装体(500);

其中,所述热扩散槽(202)比所述塑封固定槽(201)深10‑100微米。

2.根据权利要求1所述的晶圆的切割方法,其特征在于,对所述第一半导体晶圆(100)进行第一刻蚀处理之前,还包括:提供一承载基板,将所述第一半导体晶圆(100)设置在所述承载基板上,使得所述芯片区域(101)的有源面朝向所述承载基板。

3.根据权利要求2所述的晶圆的切割方法,其特征在于:对第一半导体晶圆(100)进行第二切割处理之后,去除所述承载基板,以形成多个单芯片封装体(500)。

4.根据权利要求1所述的晶圆的切割方法,其特征在于:沿着所述切割区域(102)对第一半导体晶圆(100)进行第二切割处理时,切割所述塑封层(300)和所述第一固定部(1021),进而使得每个所述单芯片封装体(500)中的第一固定部(1021)暴露于所述塑封层(300)。

5.一种单芯片封装体(500),其特征在于,所述单芯片封装体(500)采用权利要求1‑4任一项所述的晶圆的切割方法切割形成的。