1.一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的底部固定安装有气缸(2),所述底座(1)的顶部固定安装有对称设置的两个中空滑杆(4),两个所述中空滑杆(4)的顶部固定安装有同一个化学气相沉积反应箱(5),所述化学气相沉积反应箱(5)的底部开设有槽孔(30),两个所述中空滑杆(4)上滑动套装有同一个升降台(3),所述气缸(2)的伸缩端贯穿底座(1)的底部并固定连接在升降台(3)的底部上,所述升降台(3)的顶部设置有用于固定芯片的夹紧机构,所述升降台(3)的外侧壁上固定安装有磁块(7),其一所述中空滑杆(4)的内部设置有与其内壁滑动连接且与磁块(7)磁性连接的磁性滑塞(29),所述化学气相沉积反应箱(5)上设置有与其连通的尾气管道(12),所述尾气管道(12)上贯穿设置有与其转动连接的转轴(23),所述化学气相沉积反应箱(5)的外侧壁上固定安装有“L”形固定板(10),所述“L”形固定板(10)的竖直端侧壁上设置有尾气处理箱(11),所述尾气管道(12)远离化学气相沉积反应箱(5)的一端与尾气处理箱(11)连通,所述“L”形固定板(10)水平端的顶部固定安左右对称设置的两个固定板(13),所述尾气管道(12)位于两个固定板(13)之间,其一所述固定板(13)上贯穿设置有中空辅助筒(8),所述中空辅助筒(8)内设置有与转轴(23)且用于刮除尾气管道(12)内壁凝结物的清理机构,其一所述固定板(13)的外侧壁上固定安装有过渡筒(14),两个所述固定板(13)之间设置有与过渡筒(14)连接的且用于将刮除下来的凝结物排出尾气管道(12)的过渡抽吸机构。
2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述夹紧机构包括固定安装在升降台(3)顶部的两个立板(15),两个所述立板(15)相互靠近的一侧固定安装有对称设置的两个侧块(17),位于同一立板(15)上的两个所述侧块(17)之间固定连接有第一导向杆(19),位于同一立板(15)上的两个所述侧块(17)上均贯穿设置有与其螺纹连接的螺纹杆(16),所述螺纹杆(16)位于侧块(17)内侧的一端转动连接有固定块(18),所述固定块(18)滑动套装在第一导向杆(19)上,所述螺纹杆(16)位于侧块(17)外侧的一端侧壁固定安装有对称设置的两个旋杆(20)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述清理机构包括设置在中空辅助筒(8)内且与中空辅助筒(8)内壁滑动连接的清理滑塞(35),所述清理滑塞(35)靠近尾气管道(12)的一侧固定安装有齿条(36),所述转轴(23)位于尾气管道(12)内的一端侧壁上固定安装有对称设置的两个刮块(31),所述转轴(23)位于尾气管道(12)内的一端通过单向轴承连接有齿轮(21),所述齿轮(21)与齿条(36)啮合连接,所述中空辅助筒(8)远离尾气管道(12)的一端设置有与其连通的输气管(6),所述输气管(6)远离中空辅助筒(8)的一端贯穿底座(1)的底部并与其一中空滑杆(4)相连通,其一所述中空滑杆(4)的顶部设置有与其连通的辅助管(24),所述辅助管(24)远离其一中空滑杆(4)的一端贯穿化学气相沉积反应箱(5)并延伸出去。
4.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述过渡抽吸机构包括固定连接在两个固定板(13)之间的两个第二导向杆(22),两个所述第二导向杆(22)上滑动套装有位于转轴(23)和过渡筒(14)之间的同一个过渡板(26),所述转轴(23)上的外侧壁上固定安装有与过渡板(26)相抵的凸轮(25),所述过渡板(26)远离转轴(23)的一侧设置有套装在第二导向杆(22)上的弹簧(28),所述过渡板(26)远离转轴(23)的一侧固定连接有过渡杆(27),所述过渡杆(27)远离过渡板(26)的一端贯穿其一固定板(13)并延伸至过渡筒(14)内,所述过渡杆(27)位于过渡筒(14)内的一端固定安装有与过渡筒(14)内壁滑动连接的过渡滑塞(34),所述过渡筒(14)上设置有与其连通的第一过渡管(32)和第二过渡管(33),所述第一过渡管(32)和第二过渡管(33)位于过渡滑塞(34)远离过渡杆(27)的一侧,所述第一过渡管(32)远离过渡筒(14)的一端与尾气管道(12)连通,其一所述固定板(13)的外侧壁上设置有收集箱(9),所述第二过渡管(33)远离过渡筒(14)的一端与收集箱(9)连通。
5.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述底座(1)为倒放的“U”形。
6.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述尾气管道(12)为“L”形。
7.根据权利要求4所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述第一过渡管(32)和第二过渡管(33)内均设置有单向阀。
8.根据权利要求2所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述侧块(17)与立板(15)一体成型。
9.根据权利要求3所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述刮块(31)为“L”形且L”形刮块(31)的竖直端紧挨尾气管道(12)的内壁。
10.根据权利要求1所述的一种半导体芯片生产用模块化化学气相沉积反应器,其特征在于,所述固定板(13)和“L”形固定板(10)一体成型。