1.一种旋转式中间预热磁控溅射靶装置，其特征在于，所述装置包括：支架装置及支架下电机，所述支架装置和支架下电机来进行固定传导旋转；

靶装置及中间加热板装置，所述靶装置内中间加热板的电阻丝进行预热；

推出装置，所述推出装置的滑道进行推出靶材进行更换。

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的中间加热板装置内部采用电阻丝加热，通过电机通入电流，使其通过电阻产生热量，对于靶材进行适当的预热。

3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的支架起支撑与连接作用，电机通过支架带动靶体进行旋转。

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述的推出装置在靶体下侧，通过滑道对需要更换的靶材进行推出，方便更换。