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专利号: 2021205536970
申请人: 上海仟纳真空镀膜科技有限公司
专利类型:实用新型
专利状态:已下证
更新日期:2026-06-16
缴费截止日期: 暂无
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摘要:

权利要求书:

1.一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,包括安装框(1),其特征在于:所述安装框(1)的内腔活动连接有转动辊(2),所述转动辊(2)的表面传动连接有传送带(3),所述安装框(1)正表面的右侧固定连接有电机(4),所述电机(4)的传动轴贯穿至安装框(1)的内腔并与转动辊(2)固定连接,所述安装框(1)顶部的左侧固定连接有磁控溅射离子镀膜机(5),所述安装框(1)顶部的右侧固定连接有框体(6),所述框体(6)顶部的右侧贯穿设置有第一电动伸缩杆(7),所述第一电动伸缩杆(7)的底部固定连接有活动块(8),所述活动块(8)顶部的前侧和后侧均固定连接有连接管(9),所述连接管(9)的两侧均连通有连通管(10),所述连通管(10)的底部连通有喷头(11),所述活动块(8)底部的右侧通过支架活动连接有刷板(12),所述活动块(8)底部的左侧固定连接有弹簧(13),所述弹簧(13)的底部与刷板(12)固定连接,所述刷板(12)的顶部固定连接有震动电机(23),所述框体(6)的顶部固定连接有水箱(14),所述水箱(14)右侧的底部固定连接有水泵(15),所述水泵(15)的抽水管与水箱(14)连通,所述水泵(15)的出水管通过管道与连通管(10)连通,所述框体(6)内腔的顶部固定连接有第二电动伸缩杆(16),所述第二电动伸缩杆(16)的底部固定连接有导气板(17),所述导气板(17)的底部连通有喷气管(18),所述框体(6)顶部的左侧固定连接有加热箱(19),所述加热箱(19)的内腔固定连接有加热丝(20),所述加热丝(20)顶部的左侧固定连接有风机(21),所述风机(21)的出气管与加热箱(19)连通,所述安装框(1)正表面的左侧固定连接有控制器(22)。

2.根据权利要求1所述的一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,其特征在于:所述安装框(1)底部的四角均固定连接有支撑腿,支撑腿相对的一侧固定连接有支杆。

3.根据权利要求1所述的一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,其特征在于:所述磁控溅射离子镀膜机(5)的正表面设置有通气孔,所述风机(21)的抽气管套设有滤罩。

4.根据权利要求1所述的一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,其特征在于:所述水箱(14)顶部的左侧连通有加水管,加水管的顶部螺纹套设有管盖。

5.根据权利要求1所述的一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,其特征在于:所述加热箱(19)的内壁固定连接有防火网,所述水箱(14)的正表面镶嵌有第一观察窗,所述框体(6)的正表面镶嵌有第二观察窗。

6.根据权利要求1所述的一种磁控溅射离子镀膜预清理装置,其特征在于:所述活动块(8)的两侧均固定连接有限位块,限位块远离活动块(8)的一侧与喷头(11)固定连接,所述控制器(22)分别与电机(4)、磁控溅射离子镀膜机(5)、第一电动伸缩杆(7)、水泵(15)、第二电动伸缩杆(16)、加热丝(20)、风机(21)和震动电机(23)电性连接。